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光阑
①聚光镜光阑:第
二聚光镜的下方
②物镜光阑:物镜
的背焦面 (衬度光阑)
③选区光阑:物镜
的像平面 (视场光阑)
选区电子衍射 (SAED ):实际操作过程中需
要对样品上指定区域进行电子衍射分析。
选区电子衍射:
在物镜像平面上放
置一个光阑(选区光
阑)限定产生衍射花
样的样品区域,从而
分析该微区范围内样
品的晶体结构
C A O B
hkl
选区光阑直径
1um
选区光阑直径
0.1um
物镜背
焦面上
插入物
镜光阑
斑 衍
射
光 直 光 衍 斑 射 直 光
斑 射 斑 射 光
明场像 暗场像
明场成像——暗场成像
•对于晶体或非晶样品来说,选区衍射谱上
必存在一个由直射电子束形成的中心亮斑及
散射电子形成的衍射亮斑
•在物镜背焦面上插入物镜光阑来实现
选用直射电子形成的像称为明场像,
选用散射电子形成的像称为暗场像。
不锈钢中位错像
明场像 暗场像
A 晶粒和B 晶粒,B 晶粒产生衍射:
明场成像:I I -I
B 0 hkl
I ≈I
A 0
暗场成像: IB Ihkl
I ≈0
A
暗场成像比明场成像衬度大得多
束倾斜
像差
斑 衍
射
斑 直 光
射
光
暗场像 中心暗场像
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