(3.7)--7-扫描电子电镜-1.pdfVIP

Scanning Electron Microscope （SEM） 3.8扫描电子显微镜 Scanning Electron Microscope （SEM） 本章的学习要求 Ø 了解扫描电镜的用途； Ø 理解扫描电镜的成像原理； Ø 明白影响扫描电镜放大率和分辨率的各种因素； Ø 理解二次电子像与背散射电子像的差异； Ø 了解扫描电镜的制样要求。 Scanning Electron Microscope （SEM） Ø 扫描电镜照片的直观感受和成像原理解析 扫描电子显微镜在各领域的应用 玻璃纤维和纳米碳管的显微形貌 银从溶液中还原出来的枝状结晶 石墨烯的片状结构 水泥固化后内部的结晶 精密机械和集成电路领域的应用 机械手表内部的齿轮和发条 集成电路的布线 芯片上的焊点观察 生物学上的应用 卤虫体貌和结构的观察 蚜虫及其复眼形貌 蝶的幼虫和毛虫卵 大肠杆菌的观察 硅藻的网状辐射结构 纤毛虫的体貌特征 扫描电镜成像特点： 优点： J 分辨率高 J 对比度好 J 立体感强 J 倍率范围大 不足： L 只有灰阶，没有色彩 为何会有如此特征？？？ 扫描电子显微镜的成像原理 Ø扫描电子显微镜 （Scanning Electron Microscope，SEM） 是一种利用电子束扫描样品表 面从而获得样品表面信息的电 子显微镜。 成像原理需要从电子束与固体 物质作用产生的信号说起： 电子束与物质的作用 入射电子 背散射电子 二次电子 X-Rays 俄歇电子 吸收电子 透射电子 Ø电子束轰击到固体上能产生如图所示的多种信息，SEM 成像用到的是二次电子和背散射电子这两种信号，附带的 能谱仪则可以利用特征X射线进行表面的成分分析。 电子束与物质的作用的尺度 二次电子 10nm  背散射电子 100-300nm  X-Rays 1000nm 取决于样品和入射电压 Ø除受入射电子束加速电压的影响外，还与被测试物表面 自身的物质类型有关。 扫描电镜成像信号的特点 二次电子：产生于样品的表层，能量小于50eV ， 产率与试样表面形貌密切相关，由二次电子探测器 检测和收集，反映样品的形貌特征。 背散射电子：产生区域的范围和深度比二次电子大 ，能量比二次电子高，产率与被轰击物的核电荷数 有关，由背散射电子探测器检测和收集，反应样品 表面的轻重元素分布状况。 扫描电镜成像原理 假设我们可以制造一束斑束直径极小的电子束，并可以 控制该电子束轰击到被测样品的表面的指定位置，则该处将 产生二次电子、背射电子等信号。使用适当的信号探测器将 可以探测到上述信号的强度。控制该电子束在样品表面做逐 点逐行扫描，每个扫描点的信号强度均可以被逐点逐行的记 录下来，则位置与在该位置电子束激发的信号强度即可构成 一幅图像。即： 电子束轰击样品→产生信号→探测和记录→逐点逐行 扫描→逐点逐行探测记录→形成图像 图析SEM成像原理 8 10 7 13 61 33 54 15 21 23 33 68 35 44 A X 1 X2 X3 X4 X5 X6 X7 1