(3.10)--10-扫描电子电镜-4.pdfVIP

Scanning Electron Microscope （SEM） 3.11扫描电镜的制样要求 SEM形貌测试对样品的要求 1、尺寸不超过1cm2 2、导电性能好 3、在电子束轰击下有一定的 稳定性 4、真空环境下不挥发、不升 华 为何要求样品导电性好？ L样品导电差，会吸收电子束而带负电，产生静电场干扰 入射电子束和二次电子发射，电荷累积到一定程度会放 电，对图像产生严重的影响，造成反差异常、图像畸变 、亮线、像散等问题。 某芯片截面未经导电处理与经过导电处理后SEM图像对照 增加样品导电性的方法 Ø 喷金 （包括金、铂、钯、铬等）或喷碳 Ø 样品喷金后不仅可以电子累积，还可以减少电子 束对样品的损伤作用，增加二次电子的产生率， 更容易获得良好的图象。 Ø 主要包括： – 真空蒸镀法 – 离子溅射法 真空镀膜法 Ø 原理： Ø 金属在高真空下加热到熔点以上，会蒸发成 极细小的颗粒喷射到样品上，在样品表面形成 一层金属膜，使样品导电。 – 金、金和碳，铂或用金/钯、铂/钯合金 – 金属颗粒较粗，膜不够均匀，产生岛状结构。 离子溅射镀膜法 Ø 离子溅射法是在低真空状态下，在阳极与阴极 之间加上几百至上千伏的直流电压时，电极之间会 产生辉光放电，气体分子被电离成带正电的阳离子 和带负电的电子，在电场的作用下，阳离子冲击阴 极金属，将其表面的金属粒子打出，这种现象称为 溅射。 Ø 被溅射的金属粒子将会在样品表面形成一层金 属膜，用这种方法给样品表面镀膜，称为离子溅射 镀膜法。 离子溅射镀膜法 Ø离子溅射相对于真空镀膜具有以下优点： – 粒子细，岛状结构少，厚度均匀且薄 –表面凸凹的样品同样具有良好效果 – 可获得较多量的二次电子 – 所需真空度低 课程要点总结 I. 扫描电镜的应用场合？ II. 扫描电镜的成像原理是？ III. 扫描电镜的图像衬度的由来？ IV. 扫描电镜对样品有何要求？