(3.11)--11-电子探针材料测试技术及方法.pdfVIP

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2023-11-20 发布于陕西
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3.12 电子探针X射线显微分析 1.分类 2.工作原理 3.样品制备 4.分析方法 1.分类 1)能量色散谱仪特征X射线 (能谱仪，EDS) 2)波长分散谱仪 (波谱仪，WDS) 电子探针分析基本原理定性分析由Moseley定律 λ K/(Z-σ)2 定量分析强度与该元素在样品中的浓度成比例 2.工作原理—能谱仪（EDS）各元素具有特征波长电子束利用不同元素X射线光子特征能量不同进 Si （Li）行分析检测器 n E/ε 按高度液氮冷却 Q ne (E/ε)e 将脉冲样品分类进 V Q/CF 行计数 2.工作原理—波谱仪（WDS）检测器电子束利用波长不同 2d sinθ λ 平面单晶体：收集效率低分光晶体样品弯曲单晶体 2.工作原理—波谱仪（WDS）检测器电子束用分光晶体将X射线波长分散开来分别加以检测，每一个检测位置只能检测分光晶体一种波长的X射线。样品项目 EDS WDS 探测效率高（并行）低（串行）峰值分辨率差，谱峰重合好，谱峰分离分析元素范围 4Be-92U 4Be-92U 最好探测精度 0.01% 0.001% 定性分析快，1min