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Scanning Electron Microscope （SEM）
3.10 扫描电镜附件：能谱仪
扫描电镜附件—能谱分析仪 （EDS）
Ø 能谱分析仪 （EDS，energy dispersive X-ray
spectrometer）常作为扫描电镜 （SEM）的附
件，用于对SEM样品表面进行元素分析。
Ø 常见的另外一种表达EDX （energy dispersive
X-ray spectrometry ）通常指能谱法，即检测X
射线强度能量关系的一种方法。
Ø EDS用于分析的信号即之前提到的电子束与固体
物质作用产生的特征X射线。原理如下图所示：
EDS信号探测原理
Ø X射线光子进入锂漂移硅Si(Li)探测
器后，在晶体内产生电子一空穴对。
在低温下，产生一个电子－空穴对
平均消耗能量为3.8ev 。能量为E的X
射线光子产生的电子－空穴对为N＝
E/3.8
Ø 电子-空穴对形成电压脉冲信号，探
测器输出的电压脉冲高度对应X射线
的能量
3
分析模式1 ：点扫描模式
4
分析模式2 ：线扫描模式
5
分析模式3 ：元素面分布模式
6
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