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2023-11-23 发布于陕西
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Scanning Electron Microscope （SEM） 3.9 扫描电镜的主要部件和像衬度扫描电镜的结构 Ø根据扫描电镜的成像原理，SEM的部件应当至少包括电子束产生装置、电子束扫描控制装置、信号探测和记录装置、图像显示装置。扫描电镜结构示意图1 荧光闪烁体光电倍增管放大器 CRT 3 SEM结构示意图2 照相机电子枪灯丝栅极阳极 CRT 放大控制器聚光镜偏转线圈偏转线圈脉冲偏转放大器扫描电子束物镜图像信号 SE 探测器放大器样品室样品真空泵 11:07 4 电子枪 Ø 热发射电子枪：加热阴极，电子越过势垒发射 Ø场发射电子枪：强电场下，电子穿过势垒发射电磁透镜 Ø汇聚透镜： – 用于汇聚电子束，与成像聚焦无关 Ø物镜： –将电子束的焦点汇聚到样品表面物镜扫描线圈 Ø扫描线圈： –使入射电子束在样品表面扫描，并使阴极射线显像管电子束在荧光屏上作同步扫描。 –改变入射束在样品表面的扫描尺度，从而改变扫描像的放大倍数。 Ø扫描信号发生器： –产生扫描控制信号，使扫描线圈可以控制电子束在样片表面做逐点逐行扫描。信号检测器 Ø二次电子探测器 Ø背散射电子探测器背散射电子探测器二次电子探测器二次电子探测器的结构示意图 Al Coating Layer Primary Electron Phosphors Beam Photomultiplier Photo Multiplier Tube