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定位机构以及半导体制程系统.pdfVIP

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  • 2023-11-25 发布于四川
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定位机构以及半导体制程系统.pdf

    本申请提供了一种定位机构及半导体制程系统。所述定位机构用于在半导体制程系统中对机械手进行定位，所述半导体制程系统包括承载台，所述机械手用于从所述承载台上取放待加工元件，所述定位机构包括：底座，用于套设在所述承载台上；以及定位件，与所述底座连接，响应于所述底座套设在所述承载台上，所述定位件的几何中心与所述承载台预设的承载所述待加工元件的承载区域的几何中心位于同一垂直线上。通过上述设置，在半导体制造工艺制程中，可通过一次操作即可设定机械手的预设水平运动位置，不需要反复校正，减少与设备发生碰撞的概率，

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 220086007 U (45)授权公告日 2023.11.24 (21)申请号 202320933943.4 (22)申请日 2023.04.23 (73)专利权人 武汉新芯集成电路制造有限公司 地

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