《氮化镓化学分析方法 痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法》.docxVIP

1 YS/T ××××-202× 氮化镓化学分析方法 痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法 1 范围 本文件规定了氮化镓中杂质元素含量的测定方法。 本文件适用于氮化镓中杂质元素含量的测定。各元素测定范围见表 1。 表 1 测定范围 元素 测定范围 μg/g 元素 测定范围 μg/g 元素 测定范围 μg/g 元素 测定范围 μg/g 元素 测定范围 μg/g Li 0.005～5.0 V 0.005～5.0 Zr 0.005～5.0 La 0.005～5.0 Ta 2.0～5.0 Be 0.005～5.0 Cr 0.005～5.0 Nb 0.005～5.0 Ce 0.005～5.0 W 0.005～5.0 B 0.005～5.0 Mn 0.005～5.0 Mo 0.01～5.0 Pr 0.005～5.0 Re 0.005～5.0 F 0.05～5.0 Fe 0.005～5.0 Ru 0.005～5.0 Nd 0.005～5.0 Os 0.005～5.0 Na 0.005～5.0 Co 0.005～5.0 Rh 0.005～5.0 Sm 0.005～5.0 Ir 0.005～5.0 Mg 0.005～5.0 Ni 0.005～5.0 Pd 0.005～5.0 Eu 0.005～5.0 Pt 0.005～5.0 Al 0.005～5.0 Cu 0.005～5.0 Ag 0.005～