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关于透射电子显微分 析 第1页 ，共37页 ，2022年 ，5月20日 ， 10点32分 ，星期六 1 透射电镜（TEM） 透射电镜即透射电子显微镜（Transmission Electron Microscope ， 简称TEM） ， 通常称作电子显微镜或电镜（EM） , 是使用最为广泛的一类电镜。 第2页 ，共37页 ，2022年 ，5月20日 ， 10点32分 ，星期六 2 JEM- 1011透射电子显微镜 第3页 ，共37页 ，2022年 ，5月20日 ， 10点32分 ，星期六 玻璃刀制作仪 3 透射电子显微镜 莱卡超薄切片机 透射电子显微镜(TEM)可简称透射电镜 扫描电子显微镜(SEM)可简称扫描电镜 电子探针X射线显微分析仪简称电子探针(EPA或EPMA)： 波 谱仪(波长色散谱仪 ，WDS)与能谱仪(能量色散谱仪 ， EDS) 电子激发俄歇电子能谱(XAES或AES) 电子显微分析方法的种类 第4页 ，共37页 ，2022年 ，5月20日 ， 10点32分 ，星期六 • • • • 4 TEM的形式 • 透射电子显微镜（简称透射电镜 ， TEM） ， 可以以几种不同的形 式出现 ， 如： • 高分辨电镜（HRTEM） • 透射扫描电镜（STEM） • 分析型电镜（AEM） 等等。 • 入射电子束（照明束） 也有两种主要形式： • 平行束： 透射电镜成像及衍射 • 会聚束： 扫描透射电镜成像、微分析及微衍射。 5 第5页 ，共37页 ，2022年 ，5月20日 ， 10点32分 ，星期六 • 一 、工作原理 • 成像原理与光学显微镜类似。 • 它们的根本不同点在于光学显微镜以可见光作照明束 ， 透射电子显微 镜则以电子为照明束 。在光学显微镜中将可见光聚焦成像的是玻璃透 镜 ， 在电子显微镜中相应的为磁透镜。 • 由于电子波长极短 ， 同时与物质作用遵从布拉格（Bragg） 方程 ， 产 生衍射现象 ， 使得透射电镜自身在具有高的像分辨本领的同时 兼有结构分析的功能。 第一节 透射电子显微镜工作原理及构造 第6页 ，共37页 ，2022年 ，5月20日 ， 10点32分 ，星期六 6 透射电子显微镜光路原理图 第7页 ，共37页 ，2022年 ，5月20日 ， 10点32分 ，星期六 7 • TEM由照明系统、成像系统 、记录系统 、真空系统和电器系统组 成。 二 、构造 第8页 ，共37页 ，2022年 ，5月20日 ， 10点32分 ，星期六 8 1. 电磁透镜 • 能使电子束聚焦的装置称为电子透镜（electron lens） 电子透镜 {静 电透镜 磁透镜 {恒磁透镜 电磁透镜 第9页 ，共37页 ，2022年 ，5月20日 ， 10点32分 ，星期六 • • • • 9 （ 1） 电磁透镜的结构 电磁透镜结构示意图 第10页 ，共37页 ，2022年 ，5月20日 ， 10点32分 ，星期六 10 • 式中： V0—— 电子加速电压； R——透镜半径； NI——激磁线 圈安匝数； A—— 与透镜结构有关的比例常数。 11 第11页 ，共37页 ，2022年 ，5月20日 ， 10点32分 ，星期六 • 式中： u、v与f——物距 、像距与焦距。 （2） 电磁透镜的光学性质 （9-2） （9- 1） • 成像电子在电磁透镜磁场中沿螺旋线轨迹运动 ， 而可见光是 以折线形式穿过玻璃透镜 。 因此 ， 电磁透镜成像时有一 附加 电磁透镜是一种焦距(或放大倍数)可调的会聚透镜 。减小激磁电流 ， 可使电磁透镜磁场强度 降低、焦距变长(由f1变为f2 ） 。 称为磁转角 。物与像的相对位向对实像为180 。 的旋转角度， , 对虚像为 第12页 ，共37页 ，2022年 ，5月20日 ， 10点32分 ，星期六 12 • 式中： A—— 常数； —— 照明电子束波长； Cs——透镜球差系数。 • r0 的典型值约为0.25~0.3nm ， 高分辨条件下 ， r0可达约0.15nm。 （3） 电磁透镜的分辨本领 （9-3） 第13页 ，共37页 ，2022年 ，5月20日 ， 10点32分 ，星期六 13 • 作用： 提供亮度高 、相干性好 、束流稳定的照明电子束。 • 组成： 电子枪和聚光镜 • • • 电子源 • 热电子源 场发射源 钨丝 LaB6 2. 照明系统 第14页 ，共37页 ，2022年 ，5月20日 ， 10点32分 ，星期六 { 14 热电子枪示意图 灯丝和阳极间