（芯片设计）集成电路的制造工艺.pdfVIP

第三章 集成电路的制造工艺 1 第 1 页 共 45 页 为何要介绍IC制造工艺？ （1）集成电路设计人员虽然不需要直接参 与集成电路的工艺流程和掌握工艺的细 节，但了 集成电路制造工艺的基本原理 和过程，对于集成电路设计大有裨益。 （2 ）这些工艺可应用于各类半导体器件和 集成电路的制造过程。 2 第 2 页 共 45 页 代客户加工 （代工）方式 l 芯片设计单位和工艺制造单位的分离。即芯片设 计单位可以不拥有生产线而存在和发展，而芯片 制造单位致力于工艺实 ，即代客户加工 （简称 代工） 式。 代工方式已成为集成电路技术发展的一个重要特征