EDS能谱检测解读.pptxVIP

EDS原理及应用;EDS;能快速、同时对各种试样的微区内Be-U的所有元素，元素定性、定量分析，几分钟即可完成。

对试样与探测器的几何位置要求低，可以在低倍率下获得X射线扫描、面分布结果。

能谱所需探针电流小：对电子束照射后易损伤的试样，例如生物试样、快离子导体试样、玻璃等损伤小。

检测限一般为0.1%－0.5%，中等原子序数的无重叠峰主元素的定量相误差约为2%。;光子能量检测过程

X射线光子进入锂漂移硅Si(Li)探测器后，在晶体内产生电子一空穴对。在低温下，产生一个电子－空穴对平均消耗能量为3.8ev。能量为E的X射线光子产生的电子－空穴对为N＝E/3.8。

例如：MnKa能量E为5.895KeV，形成的电子

－空穴对为1550个。CaK:3.7KeV，约产生1,000电子－空穴对。

电子-空穴对形成电压脉冲信号，探测器输出的电压脉冲高度对应X射线的能量。;定性分析;定量分析;试样中A元素特征X射线的强度IA与试样中A元素的含量成比例，所以只要在相同条件下，测出试样中A元素的X射线强度IA与标样中A元素的X射线强度I(A)比，近似等于浓度比：

KA=IA/I(A)～CA/C(A)

当试样与标样的元素及含量相近时，上式基本成立，一般情况下必须进行修正才能获得试样中元素的浓度。

KA=CA/C(A)×(ZAF)A/(ZAF)(A)

(ZAF)A和(ZAF)(A)分别为试