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- 2023-12-06 发布于四川
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本实用新型是一种具有热回收的晶圆处理机台，包括至少一晶圆处理装置、一冷却管、一汲取装置及至少一冷却处理装置，晶圆处理装置是对一晶圆进行制成作业，并具有一默认的作业制成温度，冷却管其中一端是连接晶圆处理装置，并供吸附晶圆处理装置产生的热，汲取装置是供汲取并移载晶圆处理装置进行制成作业后的晶圆，冷却处理装置是承载由汲取装置汲取并移载制成作业后的晶圆进行温度正常化至一正常化温度，并且连接冷却管的另一端，由冷却处理装置接收冷却管吸附导离的热度以辅助提升冷却处理装置的正常化温度。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220138253U
(45)授权公告日2023.12.05
(21)申请号202320662779.8
(22)申请日2023.03.30
(73)专利权人瀚钧国际有限公司
地址中国台
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