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真空技术及真空计量基本知识

第二章真空计量基本知识

一、真空

1.1真空、理想气体状态方程、气体分子的热运动

地球的周围有一层厚厚的空气，称为大气，人类就生活在这些大气中。空气有一定的质量，在通常状

况下，大约为1.29g/l，可以说是很轻的。但地球周围的空气非常密，在几十公里以上的高空还有空气存在，

这么厚的一层空气受地球引力作用，就会对地面上的一切物体产生压力，这就是大气压。早在17世纪，托

里拆利就通过实验证实了大气压强的大小。通常一个标准大气压约等于0.1MPa，相当于760mm左右的汞

柱所产生的压强。

真空是指低于一个大气压的气体空间，但不可理解为什么都没有。真空是同正常的大气相比，是比较

稀薄的气体状态。按照阿佛加德罗定律1mol任何气体在标准状况下，有6.022×1023个分子，占据22.4L的

体积。由此我们得到标准状态下气体分子的密度为31019个/cm3。

在非标准状况下，当气体处于平衡时，满足描述理想气体的状态方程。

N



pkT



V



式中的N为气体的摩尔数，P为压力（Pa）,T热力学温度，κ为波尔兹曼常数，κ=1.38×10-23J/K。因

此在非标准状况下，气体分子数密度与压力和温度有关。每立方厘米中的气体分子数可以表示为：

P

n7.24106

T

式中n为气体分子数密度（cm-3），由此可见，即便在P1.31011Pa这样很高的真空度时，T=293K

时，每立方厘米的空间中仍有数百个气体分子。因此所谓真空是相对的，绝对的真空是不存在的。同时我

们也可知，气体分子数密度在温度不变时，与压力成正比。因此，真空度可用压力来表示也是以此为理论

依据。在真空抽气过程中，一般可认为是等温的，我们说容器中的压力降低了或气体分子数密度减少了都

是正确的。

1.2气体分子的热运动

从微观的角度看，气体是由分子组成的，所有分子都处在不断的、无规则的运动状态。分子的这种运

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动与温度有关，因此我们称之为热运动。做无规则运动的气体速度不都具有相同的值，而是形成一个各种

速度的速度分布，具有最大速度和最小速度的分子数都比较少，而具有“中等”速度的分子数比较多，速

度的分布是有规律的。

容器中的气体，施于器壁或测量元件的压力，是大量气体分子不断对他们进行碰撞的结果。我们知道，

所有气体分子都在以各种可能的速度和方向无规则的运动着，随时都有一部分分子碰撞到器壁或测量元件

上，并把它们的动量传递给被碰撞的物体，对于一个分子来讲，它每次碰撞在什么地方，有多大的动量都

是偶然的，不确定的。但对于容器中的大量分子而言，每时每刻都有许多分子碰撞到器壁和测量元件上，

按照统计规律，这种碰撞是恒定的、持续的、确定的，从宏观上表现出来的，就是压力。因此从分子运动

的观点看，气体压力是由于大量气体分子做无规则的热运动，对物体表面施加碰撞的统计平均结果。

1.3真空的特点

在低于大气压力的稀薄气体中，气体所显示的第一个特点是气体分子数目的减少,即单位体积内所具有

的分子数目的减小.

低压气态空间所显示的第二个特点是随着分子数目的减少,分子间、分子与器壁之间相互的碰撞次数也

逐渐的减少下来。随大气压力降低，每秒种内碰撞到每平方厘米表面积上去的分子数是在不断减少的。

低气压状态中，气体的第三个特点是气体分子热运动自由程的增大。所谓自由程，是指一个气体分子

在其热运动过程中，彼此之间不断发生碰撞，一个分子与其它分子每连续两次碰撞之间所走的路程。由于

分子运动速度不同，运动情况不同，单独讨论某一个分子的自由程是无意义的，因此通常采用平均自由程

的概念，它定义为相当多的不同自由程的平均值。平均自由程也只有