MEMS加速度传感器的数据采集系统设计.pdfVIP

２０１９年仪表技术与传感器２０１９

第９期ＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔＴｅｃｈｎｉｑｕｅａｎｄＳｅｎｓｏｒＮｏ９

ＭＥＭＳ加速度传感器的数据采集系统设计

１，２２３２２２

徐磊，房立清，李旭，霍瑞坤，齐子元，郭德卿

（１．海军工程大学兵器工程学院，湖北武汉４３００００；２．陆军工程大学石家庄校区火炮工程系，河北石家庄０５０００３；

３．陆军工程大学石家庄校区导弹工程系，河北石家庄０５０００３）

摘要：为了准确测量振动物体的振动加速度，为判断机械故障以及物体的工作状态提供可靠的参

考指标，利用ＭＥＭＳ加速度传感器设计一款振动加速度测量采集系统，该系统主要包括加速度测量模

块、加速度采集模块以及加速度读取模块，ＭＥＭＳ技术的运用大大减小了测量采集系统的体积，数字式

的输出提高了测量系统的精度。试验结果表明，该振动加速度测量采集系统可以较为准确地实现振动

加速度的测量和采集，可以承受至少１００ｇ的过载冲击。

关键词：振动加速度；加速度测量采集；ＭＥＭＳ加速度传感器

－－－

中图分类号：ＴＢ５２文献标识码：Ａ文章编号：１００２１８４１（２０１９）０９００７３０４

ＤｅｓｉｇｎｏｆＤａｔａＡｃｑｕｉｓｉｔｉｏｎＳｙｓｔｅｍＢａｓｅｄｏｎＭＥＭＳ

ＡｃｃｅｌｅｒａｔｉｏｎＳｅｎｓｏｒ

１，２２３２２２

ＸＵＬｅｉ，ＦＡＮＧＬｉ⁃ｑｉｎｇ，ＬＩＸｕ，ＨＵＯＲｕｉ⁃ｋｕｎ，ＱＩＺｉ⁃ｙｕａｎ，ＧＵＯＤｅ⁃ｑｉｎｇ

（１．ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＷｅａｐｏｎｒｙＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＮａｖａｌＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，Ｗｕｈａｎ４３００００，Ｃｈｉｎａ；

２．ＡｒｔｉｌｌｅｒｙＤｅｐａｒｔｍｅｎｔ，ＡｒｍｙＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇＣｏｌｌｅｇｅＳｈｉｊｉａｚｈｕａｎｇＣａｍｐｕｓ，Ｓｈｉｊｉａｚｈｕａｎｇ０５０００３，Ｃｈｉｎａ；

３．ＭｉｓｓｉｌｅＤｅｐａｒｔｍｅｎｔ，ＡｒｍｙＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇＣｏｌｌｅｇｅＳｈｉｊｉａｚｈｕａｎｇＣａｍｐｕｓ，Ｓｈｉｊｉａｚｈｕａｎｇ０５０００３，Ｃｈｉｎａ）

Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｉｎｏｒｄｅｒｔｏａｃｃｕｒａｔｅｌｙｍｅａｓｕｒｅｔｈｅｖｉｂｒａｔｉｏｎａｃｃｅｌｅｒａｔｉｏｎｏｆｖｉｂｒａｔｉｎｇｏｂｊｅｃｔａｎｄｐｒｏｖｉｄｅａｒｅｌｉａｂｌｅｒｅｆｅｒｅｎｃｅｉｎｄｅｘ

ｆｏｒｊｕｄｇｉｎｇｔｈｅｍｅｃｈａｎｉｃａｌｆａｕｌｔａｎｄｔｈｅｗｏｒｋｉｎｇｓｔａｔｅｏｆｔｈｅｏｂｊｅｃｔ，ａｖｉｂｒａｔｉｏｎａｃｃｅｌｅｒａｔｉｏｎｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ⁃ａｃｑｕｉｓｉｔｉｏｎｓｙｓｔｅｍｗａｓ

ｄｅｓｉｇｎｅｄｂａｓｅｄｏｎＭＥＭＳａｃｃｅｌｅｒａｔｉｏｎｓｅｎｓｏｒ．Ｔｈｅｓｙｓｔｅｍｍａｉｎｌｙｉｎｃｌｕｄｅｄａｎａｃｃｅｌｅｒａｔｉｏｎ⁃ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｍｏｄｕｌｅ，ａｎａｃｃｅ