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本实用新型提供了一种真空检漏装置。所述真空检漏装置包括：盖板、密封圈、以及连接管；所述盖板具有一内腔，能够容纳被检测装置的凸起部，并且设置为能够与所述被检测装置贴合，侧壁与所述被检测装置贴合处有密封沟槽，底部有通孔；所述密封圈，设置于所述密封沟槽内，用于所述盖板与所述被检测装置之间的密封；所述连接管，连接于所述通孔与真空泵的吸气口，控制所述连接管中的气体流通的阀门设置于其上。上述技术方案可以在工艺作业前，提前发现被检测装置的漏气情况，避免漏气的组件安装到机台上，提高了机台保养维护的工作效率，同时
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220583699U
(45)授权公告日2024.03.12
(21)申请号202322097284.8
(22)申请日2023.08.04
(73)专利权人上海积塔半导体有限公司
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