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光谱共焦显微镜的线性色散物镜设计

刘乾;杨维川;袁道成;王洋

【摘要】由于色散物镜轴向色散与波长间的非线性会导致仪器整体性能下降，本文研究了光学系统轴向色散与透镜组之间的关系，推导了轴向色散的传递公式.为得到较大的线性轴向色散，根据轴向色散的传递公式提出了一种正负透镜组均采用线性色散光焦度组合且正负透镜组分离的镜头结构.光学优化设计表明，具有正负透镜分离结构的色散物镜可以得到低的球差和大的轴向色散而且具有较大的工作距离.设计的色散物镜在430-710nm得到了1mm的轴向色散，轴向色散与波长之间的相对非线性度为4.6%,灵敏度的波动量小于整体的1/3，优于之前的研究.采用所设计的色散物镜，光谱共焦显微镜能够得到优于0.3pm的轴向分辨率和优于5pm的横向分辨率，满足精密测量的需求.

【期刊名称】《光学精密工程》【年(卷)，期】2013(021)010【总页数】7页(P2473-2479)【关键词】光学设计;光谱共焦显微镜;色散物镜;位移传感器【作者】刘乾;杨维川;袁道成庄洋

【作者单位】中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，四川绵阳621900;中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，四川绵阳621900;中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，四川绵阳621900;中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,四川绵阳621900

【正文语种】中文【中图分类】TH742.9

1引言

1955年M.Minsky发明了共焦显微镜，经过半个多世纪的发展，它已经成为一种非常重要的微观测量手段，不仅常用于三维扫描成像，并广泛应用于生物、电子、机械等领域［1-4］。传统的共焦显微镜需要对物体进行轴向扫描，根据光电探测器接收到的最大能量来确定被测对象的轴向高度，但Browne等于1992年提出的光谱共焦显微镜技术［5］利用特殊物镜产生的轴向色散来进行高度测量，无需轴向扫描，从而大幅提高了测量速度。光谱共焦显微镜还具有高分辨率和能容忍大倾斜角的优点，可应用于检测轮廓、粗糙度、位移等，如代替接触式针尖用于读取文物级唱片的声音［6］,测量透明光学元件厚度［7-8］、金属薄膜的厚度及分布［9］等。在ISO标准《几何产品参数——表面微观形貌》中，光谱共焦位移传感器为微观形貌的主要测量仪器之一［10］。

光谱共焦显微镜的轴向色散由色散物镜产生，因此，色散物镜的性能在一定程度上决定了仪器的测量范围和分辨力。常规的消色差物镜要求色差尽量小，而光谱共焦显微镜的色散物镜却要求在物方产生大的轴向色差。目前，一些研究者使用商业显微物镜加色散元件来得到轴向色差（色散），也有研究者设计专门用于光谱共焦显微镜的色散物镜。A.Ruprecht等给出了利用衍射元件分光设计的色散物镜［11］,朱万彬等设计了一种三片式的色散物镜［12］，刘乾等利用高色散玻璃和双胶合透镜设计了一种色散物镜［13］，乔杨等设计了一种具有四片透镜（其中一片为非球面）的色散物镜［8］。以上研究得到的轴向色散与波长都不是线性关系，影响了光谱共焦显微镜在测量范围内的灵敏度、分辨力等性能。其原因在于玻璃的折射率与波长成非线性关系，若物镜仅由一种材料的透镜组成，其轴向色散与波长仍保持非线性关系［13］。虽然衍射光学元件的色散与波长成线性关系；但衍射光学元件存在较大的球差，不能单独用作色散物镜，须配以透镜校正球差，而折射透镜会破坏衍射色散与波长间的线性关系［14-16］。因此，设计轴向色散与波长成线性关系的折射物镜对光谱共焦显微镜至关重要。A.Miks探索了利用多种玻璃材料密接的透镜产生色散与波长为线性关系的方法［17］，但只进行了方法研究，未给出实用的优化设计结果。本文根据工程需要，设计了一种用于光谱共焦显微镜的线性轴向色散物镜，并通过实验证实了所设计的色散物镜的轴向色散与波长成较好的线性关系。

2光谱共焦显微镜工作原理

光谱共焦显微镜使用宽谱光源照明，以光谱仪（单色仪）探测共焦点的波长，其原理如图1所示。宽谱光通过针孔进入色散物镜，在被测物体一侧产生色散，且色散物镜将不同波长的光聚焦在光轴的不同位置，将位移信息转换为波长信息。分束光纤的公共端既可产生点光源照明，又能作为针孔滤除杂光。只有焦点在被测表面上的光才能被反射透过针孔，进入针孔后方的光谱仪，而聚焦在其它轴向位置的光则被针孔滤除无法进入光谱仪。因此，焦点在被测表面上的光波长在光谱仪中体现为峰值，由光谱仪的光谱分布可以判断被测物体的高度。光谱共焦显微镜无需机械式轴向扫描就可达到数千赫兹的采样频率，提高了测量速度。同时，采用分束光纤代替分光棱镜，不仅有效减小了显微镜前端的体积，还使系统具有较好的柔性。

图1光谱共焦显微镜工作原理示意图Fig.1Prin