微机电(MEMS)陀螺仪校准规范.docx

UF1535—2015

微机电(MEMS)陀螺仪校准规范

(/h)/g,(/s)/g.

UF1535—2015

3.6角度随机游走系数anglerandomwalkcoefficient,ARW

由白噪声产生的随时间累积的MEMS陀螺仪输出误差系数，Allan方差法数据处理得到的MEMS陀螺仪输出噪声特性参数之一，/h12。

3.7带宽B。bandwidth

MEMS陀螺仪频率特性校准中。规定在测得的幅频特性中幅值降低3dB所对应的辅率范围，Hz.

4概述

MEMS陀螺仪一般由驱动结构、敏感质量、检测结构和转换线路等构成；工作原理为驱动结构在激励力作用下产生高频振动，当有外界角速率输入时。产生哥氏加速度，敏感质量块在哥氏加速度产生的惯性力作用下产生一定位移，该位移与输入角速率相关，其物理模型可简化为式(1)和式(2):

式中：

M?、M,——分别为驱动结构质量和敏感结构质量，kgi

D?、D,——分别为驱动模态和检测模态的阻尼系数，N·S/m;

Ka、K,——分别为驱动模态和检测模态的支撑刚度，N/m;

x?——敏感质量块在驱动作用下产生的相对位移，m:

x,——敏感质量块在哥氏加速度作用下产生的相对位移，mt0——输入角速率。rad/s.

将式(1)、式(2)进行拉普控斯变换得到MEMS陀螺的传递函数为式(3);

式中：

为Laplace变换的复变量：

.-

.-一：分别为驱动模态和检测模态的固有角频率，rad:

MEMS陀螺仪的主要计量特性如表1所示。

(1)

(2)

(3)

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表1MEMS陀螺仪的主要计量特性

序号

计量特性名称

单位

1

标度因数

mV/(*/s)

2

标度因数非线性度

标度因数不对称度

4

标度因数重复性

5

标度因数温度灵敏度

1/℃

6

阀值

*/h,*/s

7

分辨力

/h.*/s

8

零偏

/h.Ys

9

准备时间

8

10

零偏稳定性

/h./s

11

零偏重复性

/h.*/s

12

零偏加速度敏感度

/h)/g.(*/s)/g

13

角度随机游走系数

/h.Ys

14

零偏温度灵敏度

(/h)/℃.(/s)/℃

15

带宽

Hz

6校准条件

6.1校准环境条件

1)校准温度：(20士5)℃,校准过程中温度波动量不超过2℃。2》相对湿度：≤85%。

3)周围无强电磁场，无腐蚀性气体或液体，无强震源。

6.2校准用设备

校准用标准装置及配套设备如表2所示。

序号

校准用标准装置及配套设备

技术指标

用途

1

速率特台

速率转台

速率精皮及平稳度：0.05%(速率10*/s)

标度因数

标度因数非线性度标度因数不对称度标度因数重复性

标度因数温度灵敏度阈值

分辨力

零偏温度灵敏度

电压表(额率计)

分辨率：6位半

温箱

温度偏差：±2℃

温度波动度：1℃

温度均匀度：2℃

表2(续】

序号

校准用标准装置及配套设备

技术指标

用途

2

双轴位置台

双轴位置台

角位置精度：±3”

角位置测量重复性：±8”

零偏加速度灵敏度

电压表

(频率计)

分辨率：6位半

3

角振动标

津装置

角振动台

波形失真度≤2%

幅频特性

相频特性

带宽

频谱分析仪

范围：1Hz~10kHz

示波器

20MHz

电压表

(频率计)

分解率：6位半

7校准项目和校准方法

7.1校准项目

校准项目见表3。

表3校准项日一览表

序号

项目名称

校准方法

1

标度因数

7.2.1

2

标度因数非线性度

7.2.2

3

标度因数不对称度

7.2.3

4

标度因数重复性

7.2.4

5

标度因数温度灵敏度

7.2.5

6

阀值

7.2.6

7

分辨力

7.2.7

8

零偏

7.2.8

9

准备时间

7.2.9

10

零偏稳定性

7.2.10

11

零偏重复性

7,2.11

12

零偏加速度灵敏度

7.2.12

13

角度随机游走系数

7.2.13

14

零偏温度灵敏度

7.2.14

15

带宽

7.2.15

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5

7.2校准方法

7.2.1标度因数

7.2.1.1校准程序

a)将陀螺仅固定在速率转台上，使其输入基准轴指天；

b)检查电缆连接正确后启动速率转台，设定采样周期为1s;

c)接通陀螺仪电源，预热时间一般不超过30min。预热后，控制转台处于正转、停止、反转工作状态稳定时，分别启动计算机采样程序，记录陀螺仪的输出。在输入角速率范围内，按照GB321