椭偏仪校准规范.docx

JJF1932—2021

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椭偏仪校准规范

1范围

本规范适用于波长范围在250nm~2000nm内的椭偏仪的校准。

2引用文件

本规范引用了下列文件:

JJF1497偏光仪校准规范

GJB/J5463光学薄膜折射率和厚度测试仪检定规程

SEMIE141-0705用于集成计量的椭偏仪设备特性指南(Guideforspecificationofellipsometerequipmentforuseinintegratedmetrology)

HandbookofEllipsometry,椭偏术手册,HGTompkinsandEAIrene(eds.),WilliamAndrewPublishing,2005

EllipsometryandPolarizedLight,椭偏术和偏振光,RMAAzzamandNMBashara,North-HollandPhysicsPublishing,1977

凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本规范;凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本规范。

3术语和计量单位

3.1入射面planeofincidence

入射光束和反射光束张成的面[SEMIE141-0705椭偏装置6]。入射(反射)角规定为入射(反射)光与样品表面法线之间的夹角,参见图1(a)。

(a)入射面示意图(b)椭偏角示意图

图1入射面和椭偏角示意图

n—样品表面法线;θ—入射角;rs、rp—s、p偏振复振幅反射系数的模;

δs、δp—s、p偏振复振幅反射系数的相位

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3.2椭圆偏振角ellipsometricangle(Ψ,Δ)

简称椭偏角,也可分别称为偏振角和相位差[GJB/J5463原理2.2],单位为度(°),参见图1(b)。椭偏角是材料的偏振光学特性参量。以反射为例,假设p和s表示平行或垂直于入射面的两正交偏振分量,复振幅反射系数的比值rp/rs≡tan(Ψ)exp(iΔ)。本规范规定Ψ和Δ的取值范围分别为[0°~90°]和[-180°~180°]。[HandbookofEllipsometry,椭偏角的表示1.3.1]

3.3延迟器retarder

也称为补偿器(compensator),是能在入射偏振光束两正交偏振分量间引入相对相位差(一般称为延迟量,单位为度、弧度)的光学器件。延迟器包括波片、光弹相位调制器、液晶相位调制器、电光调制器、菲涅尔棱镜、Soleil-Babinet补偿器、Berek补偿器等。[EllipsometryandPolarizedLight,5.2.1.2Retarders]

3.4偏振态发生器polarizationstategenerator

能够产生特定偏振态光的装置,在椭偏仪中常为线偏振起偏器,或起偏器与延迟器的组合。

3.5偏振态分析器polarizationstateanalyzer

能够部分或完全确定入射光偏振态参数的装置,在椭偏仪中常为线偏振检偏器,或检偏器与延迟器的组合。

4概述

椭偏仪常用于微电子、光电子、薄膜光学、偏振光学等领域的椭偏角光谱测量与分析,按工作原理、结构形式等,可划分为反射、透射式,或单波长、多波长、光谱式,或消光式、旋转偏振光学元件式、相调制型等,或固定入射角、可变入射角式,等等。椭偏仪测量椭偏角的基本原理是,由仪器发出特定偏振态的偏振光,经被测对象表面反射(透射)后,再经偏振、相位延迟元件获得光强度的变化,经仪器分析得到椭偏角。现代椭偏仪一般由准直光源、偏振态发生器、偏振态分析器、(分光)探测系统、样品台、样品对准系统以及计算机组成,如图2所示。

根据光与物质相互作用的物理模型建立描述偏振态变化的数学模型,可由椭偏角反演分析物理模型的参数,得到材料、表面等被测对象的