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JJF19322021
椭偏仪校准规范
1范围
本规范适用于波长范围在250nm~2000nm内的椭偏仪的校准。
2引用文件
本规范引用了下列文件:
JJF1497偏光仪校准规范
/光学薄膜折射率和厚度测试仪检定规程
GJBJ5463
用于集成计量的椭偏仪设备特性指南(
SEMIE141-0705Guideforsecificationof
p
ellisometereuimentforuseininteratedmetrolo)
pqpggy
,椭偏术手册,(),
HandbookofEllisometrHGTomkinsandEAIreneeds.
pyp
,
WilliamAndrewPublishin2005
g
EllisometrandPolarizedLiht,椭偏术和偏振光,RMAAzzamandNMBashara,
pyg
North-HollandPhsicsPublishin,1977
yg
,;
凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本规范凡是不注日期的引用文
,()。
件其最新版本包括所有的修改单适用于本规范
3术语和计量单位
3.1入射面laneofincidence
p
[]。()
入射光束和反射光束张成的面SEMIE141-0705椭偏装置6入射反射角规
(),()。
定为入射反射光与样品表面法线之间的夹角参见图1a
()入射面示意图()椭偏角示意图
ab
图入射面和椭偏角示意图
1
—样品表面法线;—入射角;、—、偏振复振幅反射系数的模;
nθrrsp
sp
、—、偏振复振幅反射系数的相位
δδsp
sp
1
—
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