《微电子器件与工艺》课程设计指导书.docx

微电子器件与工艺课程设计指导书

微电子器件与工艺课程设计指导书

11

微电子器件与工艺课程设计

〔编写人魏爱香何玉定〕一、课程设计目的与任务

《微电子器件与工艺课程设计》是继《微电子器件物理》、《微电子器件工

艺》和《半导体物理》理论课之后开出的有关微电子器件和工艺学问的综合应用的课程，是使学生系统的把握半导体器件，集成电路，半导体材料及工艺的有关学问的必不行少的重要环节。其目的是使学生在生疏晶体管根本理论和制造工艺的根底上，把握晶体管的设计方法。要求学生依据给定的晶体管电学参数的设计指标，完成晶体管的纵向构造参数设计→晶体管的图形构造设计→材料参数的选取和设计→制定实施工艺方