1电容式传感器的结构及工作原理讲解.ppt

电容式传感器是将被测量的变化转换为电容量变化的一种装置，它本身就是一种可变电容器。由于这种传感器具有结构简单、体积小、动态响应好、灵敏度高、分辨率高、能实现非接触测量等特点，因而被广泛应用于位移、加速度、振动、压力、压差、液位、成分含量等检测领域。电容式传感器的结构及工作原理一、电容式传感器的基本工作原理是基于被测物理量的变化可以转换为电容量变化。由物理学知识可知，电容器的电容量是构成电容器的两极片形状、大小、相互位置及电介质介电常数的函数。（3-33）式中，ε为两极板间介质的介电常数，ε=ε0εr，ε0为真空介电常数,εr为极板间介质的相对介电常数；S为两平行板所覆盖的面积；δ为两平行板之间的距离。从式（3-33）可以看出，当被测量使S、δ、ε三参数中任意一项发生变化时，电容量就要随之变化。这就是电容式传感器的工作原理。如果保持其中的两个参数不变，而仅改变另一个参数，就可把该参数的变化变换为单一电容量的变化，再通过配套的测量电路，将电容的变化转换为电信号输出。根据电容器参数变化的特性，电容式传感器可分为变极距型、变面积型和变介电常数型三种，其中变极距型和变面积型电容式传感器应用较广。电容式传感器的基本结构如图3-29所示。图3-29电容式传感器的基本结构