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扫描电镜基本操作步骤和注意事项
一、基本操作步骤：
1.块状样品尺寸不宜过大（形状不规则的样品应咨询管理老师如何测试，不能想当然），
用铜导电胶；粉末样品，则需碳导电胶带，用牙签制样，尽可能少量，并用洗耳球
吹掉粘结不牢的粉末样品；做好样品后，把导电胶带等放入抽屉，并收拾好桌面。
2.测样品时需换鞋，请同学们注意保持实验室卫生。实验完毕后将拖鞋放回鞋架。
3.观察屏幕右下角Status“”栏里的参数是否正常，尤其是EmissionCurrent值是否正
常。测试前应在SEM记录本上记录IGP1、IGP2和EmissionCurrent的值。每次
实验要在实验记录本上记录：时间，样品名称，数量，测试人姓名，仪器是否正常。
4.未测试前系统处于P“ump”状态（黄色），按V“ent”键往样品室充高纯氮气（变黄色），
约2分钟后V“ent”键变灰色可以轻轻缓慢的拉开样品室的门（如果打不开门，马上
联系管理人员）。
5.将附有样品的铝台，用洗耳球吹洗干净，并放入。放置样品时切忌对着样品室说话，
并且样品室的门不能开着太久，以保证样品室的清洁。（正常的操作：右手握住带有
样品的镊子，左手轻轻拉开门，马上把样品放置在支架（Holder）上，并立刻用左
手轻推“”，右手扶住门正上端边缘的中间部位，双手配合，以防止门和电镜系统接
触时过大的撞击，一直到门和电镜完全接触）
6.放好样品后，轻轻将样品室门推入保证接触，将右手指放在门上接触边缘缝隙处，
左手点击“Pump”，当右手指感觉到门缝渐渐变紧时说明泵抽气正常。鼠标左键选中
左上窗口，按住鼠标中间滚轮往上拉，样品台会上升，视样品具体情况，控制样品
台和极靴之间的距离（WorkDistance,WD），WorkDistance不能小于6mm。等待
操作界面右下角“ChamberPresure”真空优于8*10-3Pa时，设置好高压和Spot的
值，方可点击“HighVoltage”加上高压。
7.鼠标左键选择一个成像窗口，点击“||”钮去掉窗口锁定，点击方框钮，选定一个合适
大小的区域聚焦和消像散。聚焦：按鼠标右键左右拖动至最清晰的位置。消像散：
等聚焦好后，按住Shift键并按下鼠标右键上下左右调至图像最清晰。左手放在小键
盘-“，+”键上，以便及时的放大缩小图像。每次聚焦图像清晰后，都必须点击LinkZ“
toFWD”按钮，建立Z轴高度与焦距的关联（点击该键后，如果在CCD窗口
拉动样品的高度，则在扫描窗口下端任务栏里的WD值随之变化，如果不点
击该键，则WD值不懂，无法判断高度；每次聚焦后都必须点击该键）
。按
“Snapshot”钮拍照（根据需求加大或者减小拍照速度）。将照片存储在support机自
己的文件夹下（刚开始点“Saveas”时，可能相应很慢，需耐心等待）。F键切换窗
5
口最大/还原。
8.做完测试后，点击V“ent”等大约2分钟后该按钮从黄色变灰色，轻轻拉开门取出样
品，并关闭门，按Ctrl+0键将Stage移至中心，点击“Pump”。最后做完测试的同志，
务必使样品室处于“Pump”状态。
9.一周内至少打扫卫生（拖地、桌面清理、整理工具耗材）一次以上，望同志们主动。
10.实验过程遇到问题，应马上通知管理老师，切忌自行解决。
11.操作STEM：必须熟练使用SEM基础上方可使用。做完STEM后，务必将状态调
节到SEM模式。首先，换成mode1，如
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