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- 2024-08-12 发布于北京
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Partsconfigure
P2
TeseArear
P3
ChuckTable(ApplicationArea:140mm)
AbsorbingFigure-1
(UpIntegSpher:136°,DownIntegSpher:140°)
ratingeratinge
P4
AbsorbingFigure-2
DiscoFrameSize(ID:194mm,OD:228mm,Width:1.2mm)
P5
Calibration
P6
規格表
GenerSpec.
al
ItemSpecification
ClassofDustFreeCLASS10000
LightShieldYes
ApplicationDiscoFrame(DTF2-6-1)
ChuckPlanarization±0.1mm
XaxisMax.travelstroke400mm
YaxisMax.travelstroke280mm
ZaxisMax.travestrokel25mm
θaxisRotationrange±10°
Vision
ItemSpecification
ScannFunct
ingionYes
ToolsBlackWhiteCCD
CCDResolution640*480pixels
MagnificatiofLens
on1x
Scanning
FieldofView6.4mm×4.8mm
AlignmentAuto
TimeofAlignment<5sec
Firs
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