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高温氧化对外延TiN薄膜晶体结构和电学性能的影响.docx

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    目录

    TOC\o1-3\h\z\u摘要 I

    1绪论 1

    1.1研究背景 1

    1.2TiN与多阴离子调控（高温氧化） 1

    1.2.1TiN简介 1

    1.2.2多阴离子调控（高温氧化） 2

    1.3国内外研究进展 3

    1.3.1TiN薄膜生长技术 3

    1.3.2TiN薄膜研究现状 3

    1.3.3TiN薄膜的室温氧化行为 3

    1.3.4氧化对TiN薄膜晶体结构的影响 3

    1.3.5氧化对TiN薄膜磁学性能的影响 4

    1.3.6氧化对TiN薄膜电学性能的影响 4

    1.

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