rena机常见的报警以及处理方法作业指导书.pdfVIP

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文件编号：

RENA机常见的报警信息以及处校订版别：

文件名称

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修订日期版本修订说明

2015-07-08A新版制定

修订部门编制审核批准

设备部

GM-012B

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1.目的

掌握RENA机常见的报警信息以及处理的方法

2..范围

RENA设备

3.定义

无

4.职责

4.1所有操作人员都必须严格按照本文件进行操作；

4.2操作过程由设备人员完成；

5.作业内容

5.1上料槽常见报警内容以及处理方法；

5.1.1通道1--8输入晶片堵塞（InputWaferjamTrace1—8）

1)发生此报警后，先将上料机停掉，检查RENA机此通道有无硅片堵塞或叠片现象，

若无可消除报警；若有立即通知设备人员处理，处理完成后消除报警，打开上料机；

2）此通道无硅片堵塞或叠片，但是报警无法消除，应通知设备人员，检查上料槽

此通道相对应的对射感应器；

5.2制绒槽/刻蚀槽常见报警内容以及处理方法；

5.2.1氢氟酸_硝酸槽泵缸严重错误(ReplenishStopped(Pumptankfull))

1）发生此报警后，第一时间通知设备人员进行处理；

2）此报警是因为泵缸内的药液液位已经达到第四个液位感应器了所致，与工艺人

员确认适当排掉些药液即可消除报警；如果液位没有达到第四个液位感应器而报此警，需

检查第四个液位感应器的灵敏度以及确认此感应器是否损坏。

5.2.2氢氟酸_硝酸槽泵缸超出最高温度(Maximumtemperatureexceeded)

1）发生此报警后，第一时间通知设备人员进行处理；

2）此报警是因为泵缸内的温度高于工艺配方内设定的温度，此报警一般发生在工

艺更换药液的时候，冰水机还在继续降温，降到设定的温度报警即可消除，若报警发生在

正常生产过程中，设备人员需要检查泵缸的温度传感器是否损坏。

5.2.3氢氟酸_硝酸槽传感器组合错误(Sensorcombination)

1）发生此报警后，第一时间通知设备人员进行处理；

2）此报警是因为泵缸内的真实液位与液位传感器感应到的液位不一致，调整液位

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传感器的灵敏度与真实液位一