1323S03020-固体电子学实验-2023版人才培养方案课程教学大纲.docxVIP

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ADDINCNKISM.UserStyle《固体电子学实验》课程教学大纲

（实验课程）

一、课程基本信息

课程号

1323S03020

开课单位

电子信息工程学院

课程名称

（中文）固体电子学实验

（英文）SolidStateElectronicsExperiment

课程性质

选修

考核类型

考查

课程学分

0.5

课程学时

17

课程类别

专业拓展课

适用专业（类）

电子科学与技术

二、课程描述及目标

（一）课程简介

《固体电子学实验》课程是电子科学与技术专业的一门专业拓展课程，旨在训练学生的基本科研能力，掌握常用的材料制备与物性测量知识。本课程主要涉及半导体材料霍耳效应、椭圆偏振、非平衡载流子的激发与复合、x射线产生与晶体衍射、干法刻蚀、溅射沉积机理等理论。本课程主要包括霍尔效应测量、薄膜厚度与折射率测量、单晶Si少数载流子寿命测量、X射线衍射、离子束刻蚀、磁控溅射沉积薄膜等6个实验项目。

（二）教学目标

在本专业的人才培养目标中包含培养学生科学研究能力的部分，本课程就是为实现该培养目标而设置的独立实验课程。本课程着重培养学生掌握近现代物理学中的常用方法、技术、仪器和知识，良好的实验习惯及严谨的科学态度，研究物理现象和规律的独立工作能力。倡导以学生独立学习、操作为主，同时要求学生严格遵守实验室规章制度和安全条例，按时完成实验。培养实事求是，严肃认真的科学态度，克服困难、坚韧不拔的工作作风，团结协作的团队合作能力。

课程目标1：掌握固体电子学基础知识，能够用于集成电路和微电子器件的分析过程中。

课程目标2：掌握常用的材料制备与性能测量流程及方法，能够将其应用于集成电路和微电子器件的制备过程中。

课程目标3：对于实验得到的结果，可以科学合理地解释，并利用资料和已掌握知识得到合理有效的结论。

三、课程目标对毕业要求的支撑关系

毕业要求指标点

课程目标

1-2：掌握电子科学与技术相关工程基础知识，能够用于集成电路和微电子器件分析和设计过程中；

课程目标1

5-2：掌握集成电路和微电子器件领域的性能测试手段，并将其用于集成电路与微电子器件设计与制备过程中，并能理解其局限性；

课程目标2

4-3：针对实验结果，采用科学方法进行分析和解释，并通过信息综合得到合理有效的结论。

课程目标3

四、教学方式与方法

本课程采取课前预习，分组实验，教师指导的教学方式进行。在教师指导下，学生独立进行实验。教学中提倡学生之间的讨论和交流，并开放实验室，为学生自主实验创造条件。具体实验步骤、测量数据处理及实验报告由学生自行完成。

五、教学重点与难点

（一）教学重点

半导体材料霍尔效应的概念，霍尔系数的测量方法。

椭圆偏振法测量厚度和折射率的机理，椭偏仪的使用方法。

非平衡载流子的激发与复合机理，少子寿命测量仪的使用方法及少子寿命的计算方法。

x射线的产生机制，晶体对x射线的衍射机制，x射线衍射仪的使用方法。

干法刻蚀机理及种类，离子束刻蚀的机理，离子束刻蚀机的使用方法。

溅射及磁控溅射沉积薄膜的机理，磁控溅射设备的使用方法。

（二）教学难点

载流子浓度和霍尔迁移率的计算方法。

非平衡载流子的产生过程及复合机制。

X射线在单晶体中的衍射过程。

离子束刻蚀的机理。

磁控溅射过程中磁场的作用。

六、实验内容、基本要求与学时分配

序号

实验项目名称

实验内容与要求

学时

类型

对应课程目标

1

霍尔效应测量

实验内容：

1.组建测试电路

2.对样品完成电阻率测量、霍尔系数测量

3.计算出样品的载流子浓度及霍尔迁移率

实验要求：

1.测试电路的正确连接

2.载流子浓度和霍尔迁移率的计算

3

验证性

课程目标1

课程目标2

2

薄膜厚度与折射率的测量

实验内容：

1.学会使用椭圆偏振仪。

2.利用椭圆偏振仪测量SiO2薄膜的折射率和厚度。

实验要求：

1.测量时激光不能用眼睛直视

2.读取消光角角度时要直视刻度盘

3

验证性

课程目标1

课程目标2

3

离子束刻蚀

实验内容：

1.稀HF清洗单晶硅片。

2.放置样品。

3.抽真空。

4.通入Ar气。

5.打开功率进行刻蚀。

实验要求：

1.HF溶液的安全使用

2.抽真空的过程，先机械泵再分子泵

3

验证性

课程目标1

课程目标2

4

单晶Si少子寿命测量

实验内容：

1.稀HF清洗样品单晶硅锭。

2.放置样品。

3.调节光强。

4.从示波器上的波形估算少子扩散长度和寿命。

实验要求：

1.示波器的使用方法

2.从示波器读取衰减曲线时要注意，将曲线起始点放到零刻度线处

2

验证性

课程目标1

课程目标2

5

X射线衍射

实验内容：

1.制样。

2.开启X射线晶体衍射仪。

3.利用计算机软件测量样品。

4.利用卡片库对比特性峰值。

实验要求：

1.关好仓门才能正常发射x射线

2.水冷循环需