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摘要
近年来，微波芯片在无线通信、集成电路和互联网等领域的广泛应用得益于其
高集成度、高性能和低功耗等特性。芯片表面微波场检测在其运行过程中扮演着重
要角色，通过准确表征其表面辐射的微波场，提供了辐射、温度及频率响应等参数，
对于确保电磁兼容性等关键问题至关重要。金刚石氮空位(NV)色心是一种独特的发
光点缺陷，具备在室温下光学易读取、微波可操控自旋态、高分辨率的特点，同时
具有对样品进行实时无损检测的能力，使得它成为了集成电路系统中芯片表面微波
信号表征的理想选择。本文主要研究基于金刚石NV
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