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微机电系统技术及应用

微机电系统技术（Micro-Electro-MechanicalSystems，MEMS）

是指一种集成微型机械、电子和计算机技术的系统，它利用微

型加工技术将传感器、执行器和电子元器件等多种功能集成到

一个芯片上，从而实现在微小空间内进行感测、信号处理和控

制的复杂系统。自20世纪80年代以来，MEMS技术在各个

领域得到了广泛的应用，成为现代科技进步的重要方向之一。

一、MEMS技术的基本原理

MEMS技术的实现基于微机械制造技术，即利用光刻、蚀刻、

离子注入、薄膜沉积、微调工艺等多种微加工技术，在硅基底

板上制造出微型机械和微型电子元器件，将它们集成在一起实

现控制系统的复杂功能。常见的MEMS元件包括传感器和执

行器两类。

传感器一般是将物理量转换成电信号输出的元件，MEMS传

感器主要有压力传感器、加速度传感器、角速度传感器、温度

传感器、化学传感器等，它们的结构和工作原理各不相同。以

加速度传感器为例，它主要是通过微型悬臂等结构感受加速度

的作用，在振动部件上加上感应电极，利用柔性连接器将机械

运动转化成电信号输出。

执行器是将电信号转换成物理运动的设备，MEMS执行器主

要有微型电机、微泵、微阀门和微喷头等。以微型电机为例，

它主要包括固定部件和旋转部件，其结构具有一定的复杂性。

电机的旋转部件通常采用转子-定子结构，采用MEMS技术可

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以制造出特殊形状的转子并将其悬挂在薄膜支撑结构上，转子

与定子之间通过电容传感器实现控制，电容传感器输出的信号

被用于控制电机的转速和方向。

二、MEMS技术的应用领域

MEMS技术的应用范围非常广泛，包括空间、军事、医疗、

汽车、电子信息等多个领域，在以下几个方面得到了广泛应用。

1.传感器

MEMS传感器可以感测体积小、重量轻、功耗低、响应速度

快、精度高等诸多优点，使之成为传感器领域的重要技术。它

广泛应用于汽车行业、工业自动化控制、医疗设备等领域，如

安全气囊用于汽车碰撞检测、指纹识别传感器、手机加速度传

感器等。

2.执行器

MEMS执行器有微型电机、微泵、微阀门和微喷头等。它们

体积小、功耗低、前沿性强，应用领域广，如利用微型泵对微

流控芯片进行流体控制，药物泵实现定量溶液输送，微喷头及

微球阀接口等应用。

3.生物医学

MEMS技术在微机器人、人工器官、基因芯片、生物芯片等

领域取得了较大的进展。其中，MEMS微型针对细胞进行操

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作，甚至跨越细胞膜进入细胞内部，更是受到了广泛关注。此

外，MEMS技术还可用于微电极的修复和移植，以及汽车人

工耳蜗的制作等。

4.电子产品

MEMS技术在电子产品中的应用以智能手机为代表。智能手

机利用MEMS技术制造了加速度传感器，包括3D加速度计、

陀螺仪、磁力计等多种传感器，可以完成图像纠正、手势识别

等功能。此外，MEMS技术还可应用于显示器和存储器等领

域。

5.工业自动化

MEMS技术在工业自动化制造过程中可应用于微机器人控制、

薄膜电解制备、微焊接、微加工等，减小制造过程中细小零部

件的误差，并提高生产效率。同时，MEMS技术在智能城市

方面、家庭安全、环境监测等方面也得到了广泛的应用。