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透明导电氧化物薄膜的研究现状及发展趋势

作者：杨秀峰

来源：《科技视界》2019年第02期

【摘要】透明导电薄膜属于存在视觉层面上的透明度，也存在导电能力的薄膜材料，具

体包含了金属导电薄膜、氧化物导电薄膜、其他化合物导电薄膜等。本文主要讲述当前研究和

应用最为广泛的透明导电氧化物（TCO）薄膜，介绍了了透明导电氧化物薄膜的特性，制备方

法，应用以及发展趋势。

【关键词】透明导电氧化物;光电特性;制备工艺;发展趋势

中图分类号：TB383.2文献标识码：A文章编号：2095-2457（2019）02-0104-003

【Abstract】Thetransparentconductivefilmisafilmwhichiselectricallyconductiveandhasa

hightransparencyinthevisiblelightrange，andmainlyhasametalconductivefilm，anoxide

conductivefilm，othercompoundconductivefilm，apolymerconductivefilm，andacomposite

filmconductivefilm.Itmainlyintroducesthemostwidelystudiedtransparentconductiveoxide

（TCO）films，andintroducesthecharacteristics，preparationmethods，applicationsand

developmenttrendsoftransparentconductiveoxidefilms.

【Keywords】TCO;Opticalandelectricalproperties;Fabricationmethod;Development

tendency

引言0

步入二十世纪八十年代之后，材料科技蓬勃发展，而薄膜技术也随之发展起来，无论是学

术领域还是实践领域均获取到了较多的成果。在材料科学之中，薄膜材料和有关技术始终是研

究的热点领域。特别存在高导电性、可见光范围内的高透光性和红外光范围内的高反射性等优

势特征的透明导电薄膜更是受到了各个专家学者的重视。

以往我们意识中导电物质，像金属、石墨等均为非透明物质，而像玻璃、水晶等透明物质

是不具备导电能力的。透明导电薄膜存在透明与导电此两方面的特点，由此变成了特色化的薄

膜功能材料，可以说其在光点产业领域之中拥有极为广阔的开发潜力。自1907年开始，

Bakdeker通过实验得出了第一种透明导电薄膜CdO之后，SnO2基薄膜、In2O3基薄膜等各类

透明导电薄膜材料接连问世，并得到了普遍的应用，到目前为止已经形成了不小的市场规模。

在经过了数百年发展历程之后，现阶段的透明导电薄膜具体包含了金属膜、金属氧化膜、

其它化合物膜等众多类型。本文将对透明导电氧化物薄膜的特性，及其制备方法与应用领域的

现状进行介绍。

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透明导电氧化物薄膜特性1

透明导电氧化物薄膜具有以下特性：

（1）良好的导电性。具体就是源自于氧缺位和掺杂此两方面因素。合理的计量、生长和

退火条件属于达成氧缺位的有效措施;合理的掺杂不仅能够强化导电率，还能够提升薄膜的可

靠性。例如ITO。TCO薄膜具备较低电阻率的特征决定性因素就是载流子的浓度，只是多晶膜

的导电机理复杂程度相对较高，实际产生低电阻率的原因还需要进行深入分析。

（2）对可见光的高透射率。一般而言，在遭遇可见光照射的情况下，只要是薄膜超出可

见光子能量光学禁带宽度，就可以维持相应程度的透明度。实际透射率达到了80%-90%，除

此以外，载流子本身的浓度属于光学带隙的主要影响因素。

（3）对光线具有选择性。众所周知，可见光是能够穿过透明薄膜的，而能够在一定程度

上反射红外光，并且其反射程度能够高达七成。并且，在其表面气体类别不同和浓度出现明显

差异的条件下，光导电率也会随之出现相应的变化，并且还存在衰减效果。

就现阶段来看，大部分透明导电薄膜都是n型半导