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硅微Ｚ轴谐振陀螺仪闭环伺服控制系统设计
硅微ｚ轴谐振陀螺仪闭环伺服控制系统设计
夏敦柱，周百令
（东南大学仪器科学与工程系，江苏南京２１００９６）
摘要：根据自行设计的硅微ｚ轴谐振陀螺仪的工作原理，提出了闭环伺服控制系统模型，在对开环检测模型分析的基础上
设计了闭环伺服控制系统，并用Ｍａｔｌａｂ软件对闭环伺服系统的频域和时域特性进行了仿真分析，选取了合适的校正环节
及优化参数。使系统有较高的稳定裕度和较好的动态特性。通过实验调试实现了初始检测电容差引起的信号以及正交信
号的反馈抑制控制，达到了较高的控制精度。
关键词：硅微ｚ轴陀螺仪；闭环伺服控制；校正环节
中图分类号：Ｕ６６６．１文献标识码：Ｂ文章编号：１０００—８８２９（２００７）Ｏ１－０００１—０３
ＤｅｓｉｇｎｏｆＳｉｌｉｃｏｎＭｉｃｒｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌＺ－ＡｘｉｓＧｙｒｏｓｃｏｐｅ
Ｃｌｏｓｅｄ－ＬｏｏｐＳｅｒｖｏｃｏｎｔｒｏｌＳｙｓｔｅｍ
ＸＩＡＤｕｎ－ｚｈｕ，ＺＨＯＵＢａｉ－ｌｉｎｇ
（ＤｅｐａｒｔｍｅｎｔｏｆＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＳｏｕｔｈｅａｓｔＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｎａｎｊｉｎｇ２１００９６，Ｃｈｉｎａ）
Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ａｃｃｏｒｄｉｎｇｔｏｓｅｌｆ－ｄｅｓｉｇｎｓｉｌｉｃｏｎｍｉｃｒｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌＺ—ａｘｉｓｇｙｒｏｓｃｏｐｅ，ｔｈｅｃｌｏｓｅｄ—ｌｏｏｐｓｅｒｖｏｃｏｎｔｒｏｌｓｙｓｔｅｍｃｏｎｓｔｒｕｃｔｉｏｎｉｓ
ｐｒｅｓｅｎｔｅｄ．Ｂａｓｅｄｏｎｏｐｅｎ－ｌｏｏｐｄｅｔｅｃｔｉｏｎａｎａｌｙｓｉｓ，ａｃｌｏｓｅｄ—ｌｏｐｓｅｒｖｏｃｏｎｔｒｏｌｓｔｕｒｃｔｕｒｅｉｓｄｅｓｉｇｎｅｄ．Ｂｙｓｉｍｕｌａｔｉｎｇａｎｄａｎａｌｙｚｉｎｇｔｈｅ
ｓｅｒｖｏｃｏｎｔｒｏｌｓｙｓｔｅｍ￣ｅｑｕｅｎｃｙａｎｄｔｉｍｅｄｏｍａｉｎｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓ．ａｐｐｒｏｐｒｉａｔｅｒｅｇｕｌａｔｉｏｎｍｏｄｕｌｅｓａｎｄｏｐｔｉｍａｌｐａｒａｍｅｔｅｒｓａｒｅｓｅｌｅｃｔｅｄ
ｔｏｍａｋｅｔｈｅｓｙｓｔｅｍｈａｖｅａｈｉｇｈｓｔａｂｌｅｍａｒｇｉｎａｎｄｅｘｃｅｌｌｅｎｔｄｙｎａｍｉｃｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ．ＴｈｅｏｒｉｇｉｎａｌｃａｐａｃｉｔａｎｃｅｄｉｆｅｒｅｎｃｅａｎｄＣｒｏＳＳｃｏｎ—
ｐｌｉｎｇｓｉｇｎａｌａｒｅｗｅｌｌｒｅｓｔｒａｉｎｅｄｔｏｒｅａｃｈａｒｅｌｉａｂｌｅｃｏｎｔｒｏａｌｃｃｕｒａｃｙｔｈｒｏｕｇｈｔｈｅｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌｔｅｓｔ．
Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｓｉｌｉｃｏｎｍｉｅｒｏｍｅｃｈａｎｉｃａｌＺ—・ａｘｉｓｇｙｒｏｓｃｏｐｅ；ｃｌｏｓｅｄ—－ｌｏｏｐｓｅｒｖｏｃｏｎｔｒｏｌ；ｒｅｇｕｌａｔｉｏｎｍｏｄｕｌｅ
硅微Ｚ轴谐振陀螺仪（以下简称ｚ轴陀螺仪）的结构原理度成正比的陀螺仪敏感信号，还存在正交信号。陀螺仪需要检
如图ｌ所示ｌ，由内外支撑梁、基座、固定驱动梳齿、可动驱动测的是输入角速度产生的信号，实际电路中由输入角速度产生
梳齿、固定检测梳齿、可动检测梳齿、可动反馈梳齿以及固定反的信号相当微弱而且淹没在噪声中，为提取陀螺仪敏感信号，分
馈梳齿组成。它的驱动和检测结构运动形式都是线振动式，能析了陀螺仪信号检测中的噪声及其来源，比较了几种微弱信号
够检测载体沿轴的角速率。ｚ轴陀螺仪的固定梳齿（驱动和检测方法的优缺点；最后根据ｚ轴陀螺仪
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