一种高热稳定性透明导电薄膜及其制备方法和应用 .pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN102534496A

(43)申请公布日2012.07.04

(21)申请号CN201210065335.2

(22)申请日2012.03.13

(71)申请人大连理工大学

地址116024辽宁省大连市高新区凌工路2号

(72)发明人叶飞侯波曹善鹏张文征

(74)专利代理机构大连东方专利代理有限责任公司

代理人赵淑梅

(51)Int.CI

C23C14/06

C23C14/30

C03C17/22

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

一种高热稳定性透明导电薄膜及其

制备方法和应用

(57)摘要

本发明涉及一种透明导电薄膜及其

制备方法，所述的透明导电薄膜，是第III

主族元素中的一种和镓共掺杂的氧化锌透

明导电薄膜。本发明的薄膜在保证薄膜热

稳定性(＞300℃)和电阻率(＜10

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

权利要求说明书

1.一种高热稳定性透明导电薄膜，是第III主族元素中的一种和镓共掺杂的

氧化锌透明导电薄膜。

2.根据权利要求1所述的高热稳定性透明导电薄膜，其特征在于所述的第

III主族元素为B，Al或In。

3.根据权利要求1或2所述的高热稳定性透明导电薄膜，其特征在于所述

的第III主族元素中的一种和镓共掺杂总含量为0.5～5at.％。

4.根据权利要求3所述的高热稳定性透明导电薄膜，其特征在于所述的镓

掺杂含量至少为0.5at.％。

5.根据权利要求1所述的高热稳定性透明导电薄膜，其特征在于所述的薄

膜的电阻率为10sup-2/sup10sup-4/supΩ·m，耐热温度为300～

600℃。

6.权利要求1所述的高热稳定性透明导电薄膜的制备方法，其特征在于所

述的方法为电子束蒸发法，其步骤为：

①将氧化锌，氧化镓和第III主族元素的氧化物中的一种混合，压制烧结得

到陶瓷靶；其中，第III主族元素中的一种和镓共掺杂总含量为0.5～5at.％；

②清洗并安装玻璃基片，在10sup-3/supPa，250℃，2转/min下通入氩气和氧

气的混合气体，开始蒸镀；所述的蒸镀在高压为6kV，电子束流为

30mA，蒸镀时间为30min下进行。

7.权利要求1所述的高热稳定性透明导电薄膜在电加热玻璃中的应用。

说明书

p技术领域

本发明涉及一种透明导电薄膜及其制备方法，其薄膜可用于汽车玻璃，建

筑物玻璃，展示柜玻璃，飞机驾驶室玻璃，火车驾驶室玻璃。

背景技术

电加热玻璃通常也叫电加温玻璃，是一种通电后能发热升温的夹层玻璃制

品，分为电阻丝电加热玻璃和薄膜电加热玻璃。涉及电阻丝电加热玻璃的专

利包括：CN201039504Y、CN201039503Y、CN201156830Y、

CN201904931U、CN201491304U、CN2181662Y等等。电阻丝电加热玻

璃也能够达到除雾霜的效果，但是由于电阻丝为不透明金属丝且无法覆

盖整个玻璃表面，导致导电加热玻璃的透明度降低和加热不均匀。涉及

薄膜电加热玻璃的专利包括：CN101962270A、CN2104776U、

C、CN1277162A等等，薄膜电加热