一种掺杂氧化锌薄膜的制备方法 .pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN102586741A

(43)申请公布日2012.07.18

(21)申请号CN201210051815.3

(22)申请日2012.03.01

(71)申请人大连理工大学

地址116024辽宁省大连市甘井子区凌工路2号

(72)发明人叶飞曹善鹏侯波张文征

(74)专利代理机构大连东方专利代理有限责任公司

代理人赵淑梅

(51)Int.CI

C23C14/30

C23C14/08

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

一种掺杂氧化锌薄膜的制备方法

(57)摘要

本发明涉及一种电子束蒸发制备掺

杂氧化锌薄膜的低能耗、易实现的工艺方

法，属于透明导电薄膜制备领域。该制备

方法为电子束蒸发法，包括靶材制备，基

片处理，蒸镀和退火的步骤，其中，蒸镀

步骤中电子束流为25～35mA，工作气压

为0.40～0.80Pa。利用上述制备方法制备

的掺杂氧化锌薄膜的方块电阻在50～

130Ω/□之间、透光率＞90％，可广泛应用

于制备太阳能电池、平板显示器和发热薄

膜中。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

权利要求说明书

1.一种掺杂氧化锌薄膜的制备方法，包括靶材制备，基片处理，蒸镀和退火的步

骤，其特征在于：所述蒸镀步骤中电子束流为25～35mA，工作气压

为0.40～0.80Pa。

2.根据权利要求1所述的掺杂氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于：所述靶材致

密度为59～70％。

3.根据权利要求1所述的掺杂氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于：所述蒸镀步

骤中电子束流为30mA，工作气压为0.51Pa。

4.根据权利要求2所述的掺杂氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于：所述靶材致

密度为59％。

5.根据权利要求1所述的掺杂氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于：所述掺杂氧

化锌中的掺杂元素为第三主族元素。

6.根据权利要求1所述的掺杂氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于：其工艺步骤

如下：

a.靶材制备：将混合的氧化锌和掺杂离子氧化物纳米粉末压制成靶材块体，烧结

成致密度为59～70％的陶瓷靶；

b.基片处理：清洗并安装基片，抽真空至10sup-3/supPa；将基片加热至200～

300℃，转速2r/min；通入氩气，电离清洗5分钟；通入氧气，氩气

与氧气的流量比为1∶1.4，将工作气压调至0.4～0.8Pa；

c.蒸镀：开始蒸镀，高压为6kV，电子束流为25～35mA，蒸镀时间为30分钟；

d.退火：蒸镀后400℃退火1小时。

7.根据权利要求6所述的掺杂氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于：其工艺步骤

如下：

a.靶材制备：将混合好的纳米粉末压制成靶材块体，烧结成致密度为59％的陶瓷

靶；

b.基片处理：清洗并安装基片，抽真空至10sup-3/supPa；基片加热至250℃，

转速2r/min；通入氩气，电离清洗5分钟；通入氧气，氩气与氧气的

流量比为1∶1.4，将工作气压调至0.51Pa；

c.蒸镀：开始蒸镀，高压为6kV，电子束流为30mA，蒸镀时间为30分钟；

d.退火：蒸镀后400℃退火1小时。

8.一种根据权利要求1所述方法制备的掺杂氧化锌薄膜，其特征在于：所述薄膜