一种氧化锌基透明导电薄膜及其制备方法 .pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN102747334A

(43)申请公布日2012.10.24

(21)申请号CN201210172083.3

(22)申请日2012.07.30

(71)申请人中国科学院宁波材料技术与工程研究所

地址315201浙江省宁波市镇海区庄市大道519号

(72)发明人宋伟杰魏铁峰杨晔张贤鹏黄金华兰品军朱科

(74)专利代理机构杭州天勤知识产权代理有限公司

代理人刘诚午

(51)Int.CI

C23C14/35

C23C14/08

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

一种氧化锌基透明导电薄膜及其制

备方法

(57)摘要

本发明公开了一种氧化锌基透明导

电薄膜及其制备方法，将制得的浆料通过

成型、冷等静压的方法得到陶瓷胚体，再

通过调节烧结过程中的升温程序得到高质

量的靶材，然后通过磁控溅射方法得到含

钛共掺杂的氧化锌基导电薄膜，所得到的

导电薄膜具有高的折射率，在硅基薄膜太

阳能电池中应用可以提升与硅薄膜折射率

的匹配度，减小光在界面处的反射，进而

提高电池效率。该方法制备含钛共掺杂氧

化锌基透明导电薄膜所用的原料便宜，操

作简单，适于规模生产，具有良好的太阳

电池及光电应用前景。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

专利权人的姓名或者名称、地址

的变更IPC(主分类):C23C14/35

专利号:ZL2012101720833变更事

项:专利权人变更前:宁波森利电

子材料有限公司变更后:森祥(宁

专利权人的姓名或者

2023-06-20波)新材料有限公司变更事项:地

名称、地址的变更

址变更前:315172浙江省宁波市

鄞州区望春工业园区科欣路317

号变更后:315175浙江省宁波市

海曙区望春工业园区布政东路

367号

权利要求说明书

1.一种氧化锌基透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，包括：

（1）将混合氧化物粉体、水和高分子添加剂按照重量比100∶40~80∶1~3

的比例混匀以形成稳定的浆料；

所述的混合氧化物粉体以重量百分比计，组成为：

ZnO96~98%

Msuba/subOsubb/sub1~2%

TiOsub2/sub0~3%

所述的ZnO、Msuba/subOsubb/sub和TiOsub2/sub纯度均至少为

99.99%，所述的Msuba/subOsubb/sub选自

Alsub2/subOsub3/sub、Gasub2/subOsub3/sub、

Insub2/subOsub3/sub或者Bsub2/subOsub3/sub；

所述的高分子添加剂选自聚乙烯醇、聚乙二醇、聚丙烯酸、聚丙烯酸

铵中至少一种