半导体制造环境控制系统（ECS）系列：洁净度控制系统_（4）.空气过滤技术.docxVIP

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空气过滤技术

1.空气过滤的基本概念

在半导体制造过程中，空气洁净度是至关重要的参数之一。空气中的颗粒物、有机物、无机物以及微生物等污染物会对半导体器件的性能和良率产生严重影响。因此，空气过滤技术在半导体制造环境中具有不可替代的作用。空气过滤系统通过各种过滤器和设备，去除空气中的污染物，确保制造环境达到所需的洁净度标准。

1.1空气污染物的分类

空气污染物主要可以分为以下几类：

颗粒物：如尘埃、金属颗粒、有机颗粒等。

有机物：如挥发性有机化合物（VOCs）、油雾等。

无机物：如酸雾、碱雾等。

微生物：如细菌、病毒等。

1.2空气过滤的重要性

在半导

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