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化工企业硅芯车间管理标准及管理措施手册
1适用范围
硅芯拉制、硅加工、超纯水制备、硅料清洗作业所涉及的人员、设备及作业环境。
管理标准与管理措施
管理对象（工种）：硅芯拉制
任务
开车前的准备、开车操车、正常停车
管理部门
本单位
监管人员
班组长、技安员、单位领导
任务1
开车前的准备
所需
工具
活动扳手、管钳、洁净手套
管理
标准
设备安装就位并清洗合格；
硅芯炉保压已完成，设备具备使用条件；
厂房内上下操作平台，地面处理等均已结束；
清理炉室确保无异物及粉尘，保证炉内洁净；
确认硅芯炉循环冷却水泵工作正常；
确认板式换热器工作正常，冷冻水进水压力为0.5MPa，脱盐水进水压力为0.6MPa；
打开硅芯炉循环冷却水出水开关，然后打开硅芯循环冷却水进水开关，并确认硅芯循环冷却水压力0.13～0.2MPa，进水水温23～28℃；
确认氩气经二级减压阀组后进入硅芯炉的压力为0.2～0.3MPa；
确认真空泵能正常工作、真空泵排气管道通畅；
控制电源、高频电源已送人硅芯厂房，设备具备带电条件；
硅芯炉单独接地系统符合高频设备接地要求，接地电阻≤1Ω。
任务2
开车操车
所需
工具
洁净手套
管理
标准
打开高频及电控柜的总电源开关，启动高频灯丝，使灯丝预热3分钟；
调节功率电位器调至”0”位,调节上下轴升降和下轴旋转电位器至”0”位并调至慢速；
用脱脂纱布蘸上分析纯的乙醇擦净炉膛、上轴、籽晶转盘、籽晶夹头。
用脱脂纱布沾上分析纯的乙醇擦拭炉膛,窥视孔,线圈,下轴和基座硅棒夹头；
用润滑油脂均匀涂抹于下轴上,并开动下轴升降开关,使其在连接处充分润滑；
带上洁净手套或用无尘纸取4个籽晶（长度为50mm）分别装入4个籽晶夹头中,拧紧夹头后,其中1支直接装入上轴飞机翅膀自动夹头中,其余3支放在籽晶转盘中,取下手套,关闭并拧紧上炉门。
带上洁净手套将硅芯料装入基座硅棒夹头中,将硅芯料的轴心和线圈中心同心，误差≤1.5mm，取下籽晶夹头，在籽晶上套上钼丝，装上籽晶夹头，将籽晶钼丝部位降到线圈中心，关闭并拧紧下炉门；
装料时不应用力过大,以免造成下轴弯曲影响其稳定运行；
关好炉门、关闭放空阀、真空球阀，打开真空泵、真空球阀将系统抽至10Pa以下；
对设备进行保真空，泄漏率10分钟＜3Pa，设备真空度满足要求。
打开仪表盘上的手动阀从0开始逐渐增大氩气流量至2000～2500qnl/h，当压力表显示炉内压力为0.04～0.08Mpa时关闭氩气手动阀。
并重复进行抽真空、保真空、充压操作，以便达到所要求的保护气的质量。
启动高频：打开“灯丝开”预热3分钟→打开“高压开”→调节“功率调节旋钮”并观察电流及电压，正常后将板间电压调至5kv左右进入化料；
启动高频时若不正常则将功率调为零，关闭“高压停”，请相关专业人员检测后方可重新启动“高压开”）；
透过下窥视孔观察籽晶的亮度，当籽晶发红时用慢速电动调节上轴保持籽晶不黑不流至籽晶在线圈上方，调节下轴至线圈下方2cm左右；
将电压调高0.5kv左右，将籽晶熔化的部分滴几滴在硅料上面进行预热，适当降低下轴防止加热过快及受热不均匀以致硅料受到应力炸裂；
当硅料变红时调节“功率调节”旋钮至板压6kv左右再调节下轴至合适位置，调节“功率调节”旋钮时高频电压≤7.0KV；
设置好上下轴上升速度，当料凸起的部分光滑时将功率调小，调节上下轴至合适位置让籽晶与硅料上熔化的部分相接触同时打开上下轴传动开关（方向都向上）。调整拉制速度、供料速度、功率至最佳（状态稳定）中途要实时巡检，直至一根硅芯拉制完成，设备拉制速度≤15mm/min；
当一根拉制完时停止上下轴移动，同时停止上下转动，用点动先将硅芯料向下调整让硅芯料与硅芯分离开再调整上轴至合适位置；
调整上轴上下至合适位置，采用手动顺时针调整籽晶转盘换取籽晶，让籽晶夹头刚好放在转盘上；
向下调整上轴将拉好的硅芯放在转盘上，反时针调整籽晶转盘刚好将已装好的籽晶头嵌入籽晶托盘上，向上调整上轴将籽晶头从转盘中取出，顺时针调整籽晶转盘至合适位置，将籽晶下降自合适位置，重复(14～20)一炉拉制完成（籽晶用完、料用完、料歪等不能再继续拉制等）才进行开炉；
调整下轴让尾料远离线圈,防止熔化的硅沾住线圈。
任务3
正常停车
所需
工具
管理
标准
当一炉硅芯拉制完成后首先将高频调节电位器降至”0”位,使得下轴的溶区凝固后关闭高频电源开关,同时降低上轴的运行速度；
待关闭高频一段时间后,打开真空泵、真空球阀排除炉中的氩气；
当真空计显示炉内真空度≤10Pa时,松动紧固下炉门的拧手,关闭真空球阀、真空泵；
打开放空阀平衡炉内气压；
当内外气压平衡后打开下炉门,戴上耐热手套取出基座及尾料；
打开上炉门,带上洁净手套,取出置于籽
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