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士不可以不弘毅，任重而道远。仁以为己任，不亦重乎?死而后已，不亦远乎?——《论语》
KLA缺陷检查培训
PPT课件
为天地立心，为生民立命，为往圣继绝学，为万世开太平。——张载
•缺陷检查概述
•缺陷检查方法与技巧
•常见缺陷类型及案例分析
目•缺陷识别与评估标准
•缺陷处理流程与改进措施
录•培训总结与展望
学而不知道，与不学同；知而不能行，与不知同。——黄睎
01
缺陷检查概述
缺陷定义与分类
操千曲尔后晓声，观千剑尔后识器。——刘勰
缺陷定义
在半导体制造过程中，由于各种原
因导致的芯片上不符合设计规格或
性能要求的问题。
缺陷分类
根据缺陷的性质和影响程度，可分
为致命缺陷、严重缺陷、一般缺陷
和轻微缺陷等。
缺陷检查重要性
去留无意，闲看庭前花开花落；宠辱不惊，漫随天外云卷云舒。——《幽窗小记》
010203
保证产品质量提高生产效率优化工艺流程
通过缺陷检查，及时发现有效的缺陷检查可以避免通过对缺陷的分析，可以
并处理芯片上的缺陷，确不必要的返工和报废，提找出制造过程中的问题，
保产品质量符合客户要求。高生产效率和降低成本。优化工艺流程，提升产品
良率和可靠性。
KLA公司及其产品介绍
百川东到海，何时复西归?少壮不努力，老大徒伤悲。——汉乐府
KLA公司简介KLA技术优势
KLA公司是全球领先的半导体制造设高分辨率、高灵敏度、高速度、高自
备供应商之一，专注于提供先进的缺动化等，能够满足客户对于缺陷检查
陷检查、量测和分析解决方案。的精准度和效率要求。
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