《摩擦式晶圆传输的微阵列接触面与粘滑传感器研究》.docx

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《摩擦式晶圆传输的微阵列接触面与粘滑传感器研究》

一、引言

随着半导体技术的快速发展，晶圆传输技术成为了关键性的工艺环节。在众多晶圆传输方式中，摩擦式传输因其高效、稳定的特点得到了广泛的应用。而摩擦式晶圆传输的效率及可靠性在很大程度上依赖于传输设备的接触面以及相关传感器技术。本篇论文主要对摩擦式晶圆传输中的微阵列接触面和粘滑传感器进行深入的研究。

二、微阵列接触面设计及其优势

微阵列接触面是摩擦式晶圆传输的核心部分，其设计直接影响到晶圆传输的效率和精度。微阵列接触面由多个微型凸起组成，这些凸起在传输过程中与晶圆表面产生接触，从而实现对晶圆的支撑和传输。

2.1设计原理

微阵列接触面的设计遵循

该用户很懒，什么也没介绍

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