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球径仪样板校准规范编制说明

国家计量校准规范《球径仪样板》

（征求意见稿）编制说明

1、任务来源

根据国家市场监督总局2022年法规制定或修订任务，受全国几何量计量技

术委员会的委托，由中国计量科学研究院负责修订《球径仪样板》检定规程。

2、修订依据

2.1JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》国家计量技术规范；

2.2JJF1831—2020《球径仪校准规范》；

2.3JJG465-1986《球径仪样板试行检定规程》

3、修订背景

在光学领域中，光学元件曲率半径是光学元件和光学系统的关键参数，光

学元件曲率半径的准确测量对光学系统的设计和加工具有十分重要的意义。光

学车间检测光学元件曲率半径的主要仪器是球径仪，球径仪主要有两种类型，

分别为接触式球径仪和非接触球径仪。接触式球径仪是通过边缘圆环上的三点

或圆形刀口接触被测光学元件，利用处于三点或圆环中心的精密测长机构测量

光学元件的矢高，从而实现光学元件的曲率半径测量。这种方法测量中等范围

的曲率半径时，精度尚可，可以达到0.03%；测量曲率半径过大或者过小的曲

率半径时精度较低，有时精度只能达到0.1%，甚至更低。非接触球径仪主要是

自准直显微法曲率半径测量仪，该方法适合长、超长曲率半径的测量，但是测

量小曲率半径时由于定焦精度不高准确度较差。近年来一批数字化的球径仪正

在取代传统的球径仪：传统的目视测微系统被光电测长系统取代，传统的显微

式定焦机构也被光电自动清晰度判别取代。因此球径仪计量与溯源成了光学加

工领域人们关心的话题。2020年JJF1831—2020《球径仪校准规范》发布并代

替JJG401—1985《球径仪检定规程》，球径仪校准规范规定了采用球径仪样板

的进行校准。但球径仪样板的所依据的检定规程JJG465-1986《球径仪样板试

行检定规程》已经作废，球径仪样板处于无法可依的现状。且JG465-1986

《球径仪样板试行检定规程》采用的方法是干涉法定焦，光栅测长法测量曲率

半径。这种方法测量准确度往往由于猫眼位置处的定焦误差，测量精度大受影

响，无法满足球径仪样板的精密计量需求。新版的2020年JJF1831—2020《球

径仪校准规范》对球径仪样板的要求均为全球形，或者超半球形的样板，拟采

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球径仪样板校准规范编制说明

用测长机测量。这种方法对于小形样板是可行的，但对于曲率半径约100mm

的，直径相当于200mm的球形或者超半球形样板样板都是不可行的。更何况超

半球形的样板无论是扣样板，还是使用干涉法测量面形都是比较麻烦的。

近十年来，曲率半径的测量方法已经有了新的发展，曲率半径的测量方法

已经有了很大提高。超高精度三维自由曲面测量仪可以扫描光学元件的轮廓，

进而根据拟合出曲率半径，这种方法测量准确度相比于球径仪法的四点拟合，

有了很大提高。北京理工大学提出了在共焦显微镜上，将共焦显微信号差动相

减以降低环境噪声的激光差动共焦曲率半径测量方法，测量最高精度可达

≤1/100000。传统的精密坐标仪法面形误差的不同拟合的区域会造成曲率半径

的不准确。同时，拟合的算法也会有一定的精度。但是激光差动共焦定焦技术

测量曲率半径时，面形误差只是引起特征曲线的旁瓣的变化。最佳拟合是通过

实际光线传递而拟合的。这种方法测量的曲率半径是最贴近实际应用的，测量

的曲率半径是实际应用需求下的最佳曲率半径，精度较为可靠。北京理工大学

联合中国计量科学研究院通过国家重大仪器专项项目研制了激光差动共焦曲率

半径测量装置（如图2所示）该装置已经运行几年，数据稳定可靠，重复性和

复现性均较好，这为曲率半径样板计量校准规范的修订奠定了坚实的基础。

图1.激光差动共焦曲率半径测量原理