真空镀膜专用测温仪.pdf

资料内容仅供您学习参考，如有不当之处，请联系改正或者删除

ECD—真空镀膜专用测温仪

目录

1、真空镀膜介绍错误!未指定书签。

1。1、真空的定义错误!未指定书签。

1。2、什么是真空镀膜技术错误!未指定书签。

1。3、真空镀膜技术的分类错误!未指定书签。

1.4、镀膜技术介绍错误!未指定书签。

1.4.1真空蒸镀错误!未指定书签。

1.4.2溅射镀膜错误!未指定书签。

1。4。3离子镀膜错误!未指定书签。

1.5镀膜材料错误!未指定书签。

2真空镀膜设备错误!未指定书签。

1/13

资料内容仅供您学习参考，如有不当之处，请联系改正或者删除

2.1常见真空镀膜机(外形）错误!未指定书签。

2.2常用真空镀膜机错误!未指定书签。

2.3各国镀膜机现状错误!未指定书签。

2。4真空镀膜机设备参数错误!未指定书签。

2。5真空镀工艺参数错误!未指定书签。

3、镀膜工艺流程错误!未指定书签。

4、真空镀膜温度监测的必要性错误!未指定书签。

5、某客户AKT镀膜机介绍错误!未指定书签。

5.1AKT镀膜机错误!未指定书签。

5.2针对智能手机与平板电脑触屏的镀膜设备－AKTAristoTwin错误!未指定书签。

5。3某客户AKT镀膜机工艺参数错误!未指定书签。

5.4某客户测温方案错误!未指定书签。

5.5某客户镀膜机温度测试曲线错误!未指定书签。

5.5.1打靶错误!未指定书签。

5.5.2未进行打靶的温度曲线错误!未指定书签。

5。5.3进行打靶的温度曲线错误!未指定书签。

2/13

资料内容仅供您学习参考，如有不当之处，请联系改正或者删除

1、真空镀膜介绍

1。1、真空的定义

真空指低于该地区大气压的稀薄气体状态。

处于真空状态下的气体稀薄程度通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高

表示真空度“好”的意思。真空度低表示真空度“差”的意思。

低真空（一般在760-10托）

–3

中真空（一般在10-10托）

—3—8

高真空（一般在10—10托）

—8—12

超高真空（一般在10—10）

注:1标准大气压=760mmHg=760Torr

1标准大气压=101325Pa

1Torr=133Pa

1.2、什么是真空镀膜技术

在真空条件下利用某种方法，在固体表面上镀一层与基体材料不同的薄层材料，也可以

利用固体本身生成一层与基体不同的薄层材料。这就是真空镀膜技术。在固体表面上镀上一

层薄膜，就能使该基体材料具有许多新的物理和化学性能。因此，真空镀膜技术又称表面改

性技术。

1.3、真空镀膜技术的分类

主要分为湿式镀膜法和干式镀膜法。湿式镀膜法可分电镀法、化学镀法；干式镀膜法常

称真空镀膜法、气相沉积——物理气相沉积（PhysicalVaporDeposition\PVD)和化学气相沉

积（ChemicalVaporDeposition\CVD）。

1。4、镀膜技术介绍

这里主要介绍一下物理气相沉积（PhysicalVaporDeposition\PVD)镀膜技术,主要有以

下三种镀膜方法：

·真空蒸镀

·溅射镀膜

·电弧离子镀

1。4.1真空蒸镀

同液体一样，固体在任何温度下都会或多或少的气化(升华），形成该物质的蒸汽.在高

真空中，将镀料加热到高温，相应温度下的饱和蒸汽向上散发，蒸发原子在各个方向的通量

并不相等。基片设在蒸汽源的上方阻挡蒸汽流,蒸汽则在其上形成凝固膜。为了弥补凝固的

蒸汽，蒸发源要以一定的比例供给蒸汽。

1.4。2溅射镀膜

2/13

资料内容仅供您学习参考，如有不当之处，请联系改正或者删除

溅射镀膜是指在真空室