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薄膜材料物理第三章金属薄膜的导电.pptVIP

薄膜材料物理第三章金属薄膜的导电.ppt

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第七讲第三章金属薄膜的导电第七讲第三章金属薄膜的导电第三章金属薄膜的导电(续)第七讲金属中的电流密度固体物理知,金属单位体积中的状态数为:由此知能量间隔dE,或者处在能量间隔中的状态数为:或写成:可见:2/n3是相空间中单位体积的态数所以,在单位体积内在vx~vx+dvx,vy~vy+dvy,vz~vz+dvz内的电子数为:fdN因此,所有电子在x方向上所形成的电流密度为:在平衡状态下,分布函数f=f0费米—狄拉克分布.Jx=0即:这些电子在x方向上所形成的电流密度为:在非平衡状态下(有外力作用)用分布函数f=f0+f1取代f0,即可:在金属单位体积中的总电子数为:(直角坐标)(球坐标)若T=0K,vvF(费米速度)f0=0(在室温下,仍具有代表性)(直角坐标)(球坐标)01020304若沿x方向加一电场F,则薄膜内的电子将获得x方向的净漂移速度.(无规热运动+有规场速速度)连续薄膜的电导理论电子在两次碰撞之间,经过一个距离λ←平均自由程λxλ→影响了薄膜电导率d↓,λx↓→薄膜电导率越小05连续薄膜的断面图若表面为原子线度的光滑表面则→镜反射→不影响电导率若表面不够光滑,则→漫反射→λ↓→ρ↑参数电子在薄膜表面有两种反射(镜反射,漫反射)镜反射表面表面漫反射①表面粗糙→漫反射→ρ=0②表面光滑→部分漫反射→ρ=0③原子级表面光滑→全镜反射→ρ=1费—桑理论连续薄膜的电导理论1952年桑德海默尔发展1938年费奇斯奠定费—桑理论——连续薄膜的电导理论如下:平衡状态下,电子的分布函数为f0非平衡状态下(如电场F)∵薄膜→长宽为无限大∴f1与x,y无关,f1仅与z有关由于仅有x轴的电场→代入玻耳兹曼方程:得到:由牛顿第二定律:另外:所以有:其通解为:式中,取决于边界条件,是电子的速度矢量若电子在薄膜表面是漫反射→散射无规则在z=0和z=d处,f=f0即:边界条件:将此边界条件代入得到:由此得到两个分布函数:直角坐标:球坐标:将此代入薄膜的电流密度为:显然垂直场强方向的薄膜断面的平均电流密度令而电流密度与场强关系(微分欧姆定律关系):所以薄膜的电导率为:而平衡状态下的分布函数——费米分布:取一级近似得到:对于块状材料所以式中:所以有:或用电阻率表示有:(查数学手册)而:为块状电阻率,表面电阻率由此可见,知道了在k1的情况下:厚度很厚的薄膜的数值对连续薄膜电导的讨论薄膜特点:表面效应,晶粒较小,晶界较多,杂质多,缺陷多…σb,ρb,λb应该是厚度很大的薄膜的数值。当薄膜的两个表面(或者一个表面和一个界面)相同时。对于全市漫反射的情况,在k1的条件下,有:而(实际上k≥0.1,上述结论也能给出满意的结果)而k0.1则不再是连续薄膜了,而是网状薄膜.可见,表面光滑程序改善以后,薄膜的电导率变大。对于部分漫反射的情况,用同样方法推导有:在k1有:第七讲第三章金属薄膜的导电第七讲第三章金属薄膜的导电

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