《真空表面处理工艺用离子源》编制说明.pdf

广东省真空学会团体标准

《真空表面处理工艺用离子源》（征求意见稿）

编制说明

一、工作简况

1.任务来源

本团体标准根据《广东省真空学会广东省真空学会团体标准管理办法的通知》要求进

行制定。起草单位有中山市博顿光电科技有限公司、广东省中山市质量技术监督标准与编码

所、佛山市博顿光电科技有限公司、中山凯旋真空科技股份有限公司等。《真空表面处理工

艺用离子源》团体标准由广东省真空学会归口。

2.主要工作过程

提案、立项阶段：2021年1月，广东省真空学会发布了关于《广东省真空学会广东省

真空学会团体标准管理办法的通知》。2021年5月初，中山市博顿光电科技有限公司向省

真空学会提出了制定《真空表面处理工艺用离子源》团体标准的申请，获得了省真空学会的

批准和立项。

起草（草案、论证）阶段：2021年5月，由中山市博顿光电科技有限公司、广东省中

山市质量技术监督标准与编码所、佛山市博顿光电科技有限公司、中山凯旋真空科技股份有

限公司等单位联合成立了标准工作组，并开始对标准的范围，术语与定义，及各章节内容进

行了细致讨论。结合企业实际情况，对标准内容进行了制定，形成了标准征求意见稿。

3.征求意见

2021年5月，学会向各相关单位及专家发送标准征求意见的函，将开展为期30日的广

泛意见征集工作。征集相关单位对标准范围、可操作性、语言表述等方面的意见建议。

二、标准的编制原则

本标准在起草过程中，主要遵从了以下原则：

1.遵从会员企业实际原则

标准起草过程中，标准化工作组成员广泛查阅相关文献资料，并对离子源的制造商、关

键部件供应商、设备使用方等进行调研，充分听取这些领域会员企业的意见，在标准内容上

认真研究企业实际应用，满足离子源在真空表面处理工艺应用中的基本功能的前提下，充分

反映会员企业实际，做到标准为本团体企业服务、为团体企业产品质量提升提供技术支撑。

2.鼓励技术进步和规范行业发展原则

离子源及工艺应用技术应用领域广泛，为鼓励技术进步，标准在条款上尽量只陈述原则

和要求，对个性化的产品特征不做限制，鼓励技术创新。同时积极参考国内外最新的技术要

求，保证了标准内容的先进性。

3.与其它标准的协调一致原则

标准起草过程中，针对国内外相关标准（包括国家标准、行业标准、地方标准以及企业

标准等）的进行了详细的检索与研究，结合GB/T3163—2007《真空技术术语》等已有标

准，在内容、术语、试验方法上尽量与已有标准保持协调一致。

三、标准主要内容

本标准规定了真空表面处理工艺用离子源的术语和定义、分类、使用条件、技术要求、

试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。

（一）范围

本标准适用于在真空环境下用于表面处理工艺的离子源。

（二）术语和定义

在GB/T3163—2007《真空技术术语》所规定的术语与定义基础上，对“离子源”、“离

子源本体”、“中和器”、“驱动控制系统”、“工作气体”、“维护间隔时间”、“工作真空度”等

名词进行了补充和定义。

（三）分类

针对目前已有离子源，从结构、形状、维护间隔时间、工作真空度、制冷方式、工作气

体类型、综合性能指标等方面对离子源进行分类，使得该部件装备的结构、功能、应用等更

加完整、清晰。

（四）使用条件

真空表面处理工艺用离子源作为工艺流程中的核心部件，是配合工艺设备共同完成工艺

流程，离子源与工艺设备需相互配合使用。本部分针对离子源与工艺设备的工作条件和安装

条件进行描述，有利于离子源的使用和安装方式的统一。

（五）技术要求

从功能要求、结构、接口、电气安全等四个方面对离子源的技术指标做出规定，基本对

该类部件装备涉及到的所有要素做到了全覆盖。

（六）试验方法

对照（五），对各项要求的试验方法做出详细的描述。

四、采用国际标准或国外先进标准的程序及水平说明

查无相关国际标准和国外标准，因而本标准制定过程未启用采标程序。

五、与现行法律、法规和强制性国家标准的关系

本标准与现行相关法律、法规和强制性国家标准无冲突之处。

六、标准宣贯及实施建议

中山市博顿光电科技有限公司、广东省中山市质量技术监督标准与编码所、佛山市博顿

光电科技有限公司、中山凯旋真空科