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洁净空调施工质量通病分析及改进策略探讨

周艳丽 胡序江

威海三立建设工程有限公司 山东 威海 264200

摘 要 随着社会的持续发展，人们对提升洁净室中洁净工艺环境的要求越来越高。暖通空调系统负责控制空气洁

净度、温度、湿度和压力，是洁净室内的核心设施。暖通空调系统施工过程繁多且极其复杂，在该过程中存在很多

普遍性的问题。本文针对几类常见的问题进行了概述与分析，旨在为暖通空调系统施工过程中的问题提供解决思

路，以提高室内洁净度。

关键词 洁净室；暖通空调；施工过程；洁净度

引言 音器和吸音元件，以满足工作人员可接受的声音水平标准。振

由于暖通空调系统负责控制空气洁净度、温度、湿度和压动水平则通过采用具有刚度和质量的结构设计进行控制。虽然

力，该系统是洁净室内的核心设施，也是洁净室设施中最复杂无法实现完全无振动，但采用特殊的结构设计可以帮助控制振

和最重要的系统[1-3]。洁净空调系统通过增加空气供应、调整气动，其中混凝土格板系统是最常见的选择。振动还可能来自机

流模式以及使用高效过滤器和房间增压等方式进行通风。暖通械设备，这些设备应具有弹簧隔振器、惯性块和风管上的柔性

空调系统的设计和安装在洁净室应用中至关重要。连接。振动与声音密切相关，因此设备的布置必须经过策略性

洁净室内的暖通空调系统在施工过程中存在很多问题。王的考虑，以避免对性能产生负面影响。关于风扇的改进设计包

岩[4]总结了洁净室内空调系统的施工技术要点，提出风管的制括叶片轴流风扇套件，将先进的风扇工程与声音衰减器的空气

作与施工是该系统中的难点与重点，需要被广泛关注。吴永仁动力学和声学设计相结合。这种封装类型适用于再循环空气处

等人[5]简述了医院洁净空调系统设计、施工和验收过程中存在理器，创造出安静且高效的系统。

的问题，并提出了解决措施。巴峰[6]的研究则主要关注洁净室在洁净室和实验室循环空气处理系统中，通过规定所需的

内暖通空调的安装环节，总结了安装过程中的各种问题。洁净声功率水平或使用外部消声器，可以实现噪声控制。在前者的

室内暖通空调系统施工过程中问题的解决，有助于提高室内洁情况下，必要时需对风扇单元进行修改，以满足指定的进气和

净度，对改善室内环境起到促进作用。排气声功率水平。这可能涉及内部衬里、内置消声器、风扇波

纹管设计、风扇选择等方面的调整。对于FFU的安装，使用外

1  空调系统噪音与振动问题部消声器通常不可行。因此，在设计和选择FFU时，需要特别

在暖通空调系统中，噪声和振动的控制是至关重要的。由考虑其内部设计对噪声控制的影响，以确保达到洁净室的声学

于提供所需清洁度水平需要大量空气，噪声成为难以控制的污要求。针对排气系统，特别是排气设施附近的敏感区域，考虑

染控制设备变量之一。高噪音水平可能引起振动，影响对敏感到声源的定向特性，调整声功率的辐射方向性是至关重要的。

设备的性能。在半导体微芯片制造过程中，一些设备对环境振对于控制烟囱噪声，有多种消声配置可供选择，包括标准的吸

动有极严格的限制。以电子洁净厂房为例，在生产半导体微芯声式消声器、烟囱内部件和主动噪声控制。在使用吸声式消声

片的过程中，需要一个尽可能减小振动的场所。随着芯片尺寸器时，必须确保填充材料能够抵御排气的化学成分和高温度、

的减小和新型高密度产品中使用的线宽的缩小，设备内的振动高流速带来的挑战。有时，也可选择翻新或无填料的消声器。

效应可能对产品造成损害，导致缺陷增加，这是不经济的。最消声器的位置对于避免产生系统效应、减少插入损耗和减少消

终产品的可靠性可能取决于晶圆制造设备的振动隔离系统。声器压降非常关键。对于排气扇的外壳辐射噪声，有效的控制

空气处理系统、通风柜、排气系统以及设备区域（如冷却方法是采用全封闭的隔音罩。在处理较低频率的电机噪音问题

器、锅炉、泵等）的位置必须仔细规划，并需要使用适当的消时，部分封闭的结构或声屏障也是