《半导体无尘车间装修工程技术规范》.pdfVIP

ICS91.180

CCSP32

KSZZ

团体标准

T/KSZZXXXX—2025

半导体无尘车间装修工程技术规范

Technicalspecificationfordecorationengineeringofsemiconductorcleanroom

（征求意见稿）

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

昆山市智能制造创新联盟发布

T/KSZZXXXX—2025

目次

前言II

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4基本规定1

5材料1

5.1地面材料1

5.2墙面材料2

5.3吊顶材料2

5.4门窗材料2

5.5其他材料2

6施工2

6.1地面2

6.2墙面2

6.3吊顶3

6.4门窗3

6.5净化空调系统3

6.6排风系统4

6.7照明4

6.8配电系统5

6.9工艺设备安装5

7验收5

7.1一般规定5

7.2无尘车间的测试6

7.3竣工验收6

7.4性能验收7

7.5使用验收8

参考文献9

I

T/KSZZXXXX—2025

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由昆山市弘毅志远环境工程有限公司提出。

本文件由昆山市智能制造创新联盟归口。

本文件起草单位：昆山市弘毅志远环境工程有限公司、昆山市弘毅志远环境工程有限公司、深圳市

弘毅志远环境科技有限公司、东莞市佳境净化科技有限公司、深圳市金光华净化设备有限公司、深圳市

海天源过滤器有限公司、昆山市海兴净化设备有限公司。

本文件主要起草人：庞松涛、杨世俊、徐书雷、许志华、欧阳应辉、张秀东。

II

T/KSZZXXXX—2025

半导体无尘车间装修工程技术规范

1范围

本文件规定了半导体无尘车间装修的基本规定、材料、施工、验收。

本文件适用于半导体无尘车间（以下简称“无尘车间”）的装修工程的施工和验收。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB50016建筑设计防火规范

GB50058爆炸危险环境电力装置设计规范

GB50073洁净厂房设计规范

GB50303建筑电气工程施工质量验收规范

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

无尘车间cleanroom

空气中悬浮粒子浓度受控的房间，