高深宽比微结构形貌复原算法、参数测量报告格式、参数测量示例.pdfVIP

GB/TXXXXX—XXXX

附录A

（资料性）

高深宽比微结构形貌复原算法

高深宽比微结构三维形貌重构可选用垂直扫描干涉算法进行计算，具体算法过程如下。

利用垂直扫描模块以固定的扫描步长进行相位移动并同步采集干涉图。扫描步长设置为光源工作

波段中心波长的八分之一。顶部和底部的扫描长度均设置为1.5个相干长度，在顶部干涉图像采集和

底部干涉图像采集的扫描步数均为扫描长度除以步长所得的商取整，记为m。则测量高深宽比微结构

形貌的总扫描步数，也即是干涉图的总幅数，记为n=2m。

首先计算干涉信号的对比度，提取信号包络，见公式（A.1）

(,)=√[7−1(,)++3(,)−−3(,)+7+1(,)]2···············（A.1）

[]2

+8(,)−4(,)+4(,)

−2+2

式中：

i——对应干涉图像的扫描步数的序号，=4,5,6⋯−3。

按照公式（A.2）计算信号包络的重心，得到相干峰位置：

∑(,)

(,)==1··········································（A.2）

∑(,)

=1

式中：

(,)——对应采样点的相干峰的空间坐标；

——干涉图的总幅数。

按照公式（A.3）将干涉信号的相干峰信息转化为高度信息，得到样品的三维形貌ℎ(,)。

0

(,)×(,)≤/2

ℎ(,)={8························（A.3）

0

(,)×+ℎ(,)/2

0