微电子概论（第3版）课件6-7-3 工艺与器件模拟及统计分析-统计分析 .pptx

IntroductiontoMicroelectronicsThirdEdition《微电子概论》（第3版）郝跃贾新章史江一

6.7.3统计分析6.7工艺与器件仿真及统计分析目录6.7.2器件仿真6.7.1工艺仿真

1.集成电路的统计模拟集成电路工艺过程是不确定的，波动的，工艺参数统计上符合正态分布规律。表征参数分散性的特征参数为：中心值和容差集成电路统计模拟：又称成品率分析，是分析由于元器件参数中心值及容差分布模拟电路响应的分散情况。响应未超出容许范围，则为成品

1.集成电路的统计模拟工艺统计模拟分析：由工艺条件中心值及容差模拟工艺参数结果的分散性器件统计模拟：由工艺参数中心值及容差模拟器件特性的分散性蒙特卡洛分析：在给定器件参数容差的统计分布规律的情况下，用伪随机数产生器件参数的随机抽样序列，对这些随机抽样序列进行直流、交流小信号和瞬态分析，通过分析结果估算电路性能的中心值、方差以及合格率、成本等

2.集成电路的统计设计针对器件容差的容忍性设计①以成品率为目标的统计设计成品率决定因素：中心值、容差。两种优化方法：中心值优化法——固定容差，求中心值使得成品率最高容差优化法——固定中心值，求容差使得成品率满足要求

2.集成电路的统计设计②以成本为目标的统计设计一般情况下，提高成品率和降低成本的目标是一致的。但如果降低容差提高成品率的过程中付出的代价超过了成品率提升带来的收益，则会导致成本提高，此时以成本为目标提供另一个选项同一个设计可以根据容差划分成不同等级的产品