双频驱动大气压介质阻挡放电模态及电子密度调控研究.pdf

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哈尔滨工业大学工学硕士学位论文

摘要

大气压介质阻挡放电指的是在大气环境开放的情况下产生的有着较低宏观气

体温度、较高电子密度和较为丰富活性粒子类别的生产等离子体的手段。和以往

低气压放电不同,这种放电方式用到的真空设备价格较低、能够实现连续操作且

有着简便的维护流程。大气压介质阻挡放电以其独特的技术优势在先进材料制备、

前沿生物医学等领域都展现出了良好的应用前景,甚至发挥了不可替代的作用。

对大气压介质阻挡放电等离子体参数实现多目标、宽范围、高精准、主动协同优

化调控是针对具体应用需求所必须解决的关键技术难题。

本文以大气压介质阻挡放电为研究对象,通过数值模拟方法对平板型大气压

介质阻挡放电在双频驱动条件下的放电模态演化以及其中关键等离子体参数——

电子密度调控进行了详细的研究。采用一维流体力学耦合半动力学方法,分析研

究了50kHz/5MHz频率组合情况下,不同外施参量的变化对放电模态及电子密度

的影响规律,并从带电粒子密度分布、电子碰撞电离、电子吸收功率等微观电子

动力学过程入手,揭示了双频驱动对放电模态演化及电子密度分布/调控的物理机

制。

对比单频驱动结果,在双频驱动条件下,数值模拟研究结果表明:在单一高

频(射频5MHz)的基础上,额外施加一个较低频率(50kHz)的电源,在改变

不同外施参量,如不同电压幅值匹配、二次电子发射系数等,可有效拓宽介质阻

挡放电α模式工作域。同时,当高频分量占主导时,随着低频分量电压升高,氩

离子密度向放电体区收缩,而氩亚稳态粒子密度则向放电鞘层区扩散,电子密度

与单高频相比并无明显升高;当低频分量占主导时,随着高频分量电压升高,放

电电子密度随高频电压幅值的增加而大幅度增加。通过电子吸收功率可以观察到,

随着高频电压幅值的增加,电子吸收功率在一个低频周期内由类多脉冲结构向连

续结构演化,这意味着电子可以在完整的低频周期内被持续加热,使得电子密度

得到大幅度提高。考察带电粒子密度的空间分布可以发现,当低频分量占主导时,

平均电子能量在靠近鞘层区的位置呈现最大值,并向体区缓慢下降,电子密度与

氩离子密度在体区中间区域近似,而氩亚稳态粒子密度则在0.75-1.25mm位置处

最低;当高频分量占主导时,平均电子能量更集中在放电鞘层区,并由放电鞘层

区快速向体区下降。与低频分量占主导不同时,氩亚稳态粒子密度在鞘层区位置

时高于电子密度与氩离子密度,在向体区扩散时快速下降,在0.4-1.6mm位置处

最低。上述结果意味着通过改变双频参数,可有效改变带电粒子的空间分布,从

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哈尔滨工业大学工学硕士学位论文

而使得带电粒子在宏观上可以被有效调制。

针对大气压介质阻挡放电中放电模态的演化问题,本文开展了双频电压幅值

与二次发射电子系数对放电模态影响的研究。结果表明:在单一高频分量基础上

额外施加一个低频分量,可有效拓宽介质阻挡放电α模式工作域,α模式工作域

由750-1150V扩展至950-1800V。这是由于在双频共同作用下,放电由类脉冲

模式向连续模式转化,大大降低了每次击穿所需的击穿电压,使得放电电流无法

积累。此外,在双频条件下改变二次发射电子系数可以发现当外施电压在小于

1200V时,二次电子发射系数对放电电流影响不大,当外施电压超过1200V时,

放电电流在γSEE=0.05时减小,而在γSEE=0.1时增大,这意味着二次电子发射系数

可有效改变放电过程的阻抗变化,从而影响放电过程中的模式转换,但二次电子

发射系数存在着最优选取,并非随着二次电子发射系数的增加而呈线性变化。这

一结果为大气压介质阻挡放电的模态变化影响及电子密度调控提供了一种新方法

及有效手段。

关键词:介质阻挡放电,双频驱动,电子密度调控,放电模式

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Abstract

Atmosphericpressuredielectricbarrierdischa

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