阵列型大气压冷等离子体射流均匀性控制及特性实验研究.pdf

摘要

大气压冷等离子体放电技术的迅速发展推动阵列型大气压冷等离子体射流

技术在近年来成为国际上等离子体科学与技术领域研究的热点之一。这一技术

的主要优点在于：击穿电压低，产生的活性粒子密度高、射流的长度较长；而

且易于安装和拆卸，可重复利用；鲁棒性好。上述优点不仅大大加强了大气压

放电技术在薄膜沉积、气相沉积等材料表面改性技术应用方面的优势，而且进

一步拓宽了其在环境工程和医疗卫生领域的应用前景，更加深了相距较远的不

同学科之间深度的交流融合，对大气压等离子体放电理论与技术的发展有重要

意义。在这个发展过程中，该技术也面临着一些不断出现的挑战。其中，阵列

型大气压冷等离子体射流的下游工作区待处理材料表面附近等离子体的不均匀

性问题是一个亟待解决的问题。

本论文针对阵列型大气压冷等离子射流技术和均匀性问题，研究三种不同

的阵列型大气压冷等离子射流结构：①平行双管阵列结构；②蜂巢型七管阵

列结构；③线性七管阵列结构。这些结构采用多个相同电极的组合排列形成不

同阵列，可以作为今后实现大型化射流源的基元部件。通过对所产生射流的整

体形状调制、以及电学诊断与光学诊断等方法，对阵列型大气压冷等离子体的

均匀性控制和放电特性进行研究。

对平行双管阵列的研究中，分别以氩气和氦气为产生等离子体的工作气体，

通过对外部参数（如外加电压幅值、放电驱动频率、注入气体流速等）的调节，

开展等离子体特性研究，发现了这些参数影响大气压放电等离子体射流特性的

规律。并通过发射光谱诊断方法对射流的产生及演化过程进行实验诊断。对线

性（一字型）排列及蜂巢型七管阵列的研究中，以氦气为产生等离子体的主要

工作气体，采用调节不同外施参数和发射光谱分析的方法，对放电等离子体射

流的产生及演化进行了有效的实验诊断研究。

关键词：大气压等离子体射流；射流阵列结构；放电特性及均匀性控制

Abstract

Therapiddevelopmentofatmosphericcoldplasmadischargetechnologyhas

promotedthearraytypeatmosphericpressurecoldplasmajettechnologytobecome

oneofthehotspotsinthefieldofplasmascienceandtechnologyresearchinthe

worldinrecentyears.Themainadvantagesofthistechnologyare:lowbreakdown

voltage,highdensityofactiveparticlesgenerated,longjetlength,easyinstallation

anddisassembly,reusability,andgoodrobustness.Theaboveadvantagesnotonly

greatlyenhancetheadvantagesofatmosphericpressuredischargetechnologyinthe

applicationofsurfacemodificationtechnologiessuchasthinfilmdepositionand

vapordeposition,butalsobroadenitsapplicationprospectsinthefieldof

environmentalengineeringandhealthcare,andfurtherdeepenthedifferencesThe

deepintegrationandexchangebetweendisciplinesisofgreatsignificancetothe

developmentofatmosphericpressureplasmadischargetheoryandtechnology.Inthis

developmentprocess,the