半导体清洗废水处理工艺流程图.docxVIP

清洗废水（30m3/d）

调节罐

调节罐

酸/碱（如需）

酸/碱（如需）

pH调节池

副产物可作为

副产物可作为危废或进一步浓缩结晶

MVR强制循环蒸发系统

UASB厌氧塔

UASB厌氧塔

生物接触氧化

生物接触氧化池（三级）

曝气风机

曝气风机

PAC/PAM-

PAC/PAM-

污泥罐

高效沉淀池

污泥脱水机清水池

污泥脱水机

清水池

无害化处置达到《电子工业污染物排放标准》

无害化处置

达到《电子工业污染物排放标准》GB39731-2020间接排放标准

图列：污水线药剂线污泥线曝气线

母液罐分离器分离器离心机积厚器分离器MVR蒸汽压缩机强制循环加热器预热预热原水

母液罐

分离器

分离器

离心机

积厚器

分离器

MVR蒸汽压缩机

强制循环加热器

预热

预热

原水