基于光纤式干涉光谱的厚度测量方法与系统研究.pdfVIP

摘要

精密检测技术在工业生产领域中发挥着越来越大的作用，对样品厚度的精准

控制提出越来越高的要求，其精确度和均匀性直接影响了加工工艺的实际效果。

干涉光谱测量技术具有高精度、无损测量、不需要机械扫描等优势，被广泛应用

于样品厚度的快速测量。本文设计及开发了一套基于光纤式干涉光谱的厚度测量

系统，并针对不同特征的样品提出了不同的测量方法，实现了不透明样品厚度测

量、透明样品厚度及折射率的同时测量，实验结果表明测量系统具有良好的测量

性能。论文主要完成以下工作：

1、针对厚度检测在工业生产领域中的测量需求，本文分别介绍了不透明样

品厚度检测技术、透明样品厚度及折射率检测技术，并对不同方法进行了分析与

比较，重点阐述了干涉光谱测量技术在厚度检测应用中的优势。

2、基于干涉光谱测量技术的原理，提出了傅里叶变换法解算绝对距离，通

过仿真验证了算法解算的精度，并研究了两种测量方法用于不同特征样品的测量，

分别是针对不透明样品厚度测量的双探头法和针对透明样品厚度及折射率同时

测量的插入法。

3、设计并搭建了基于光纤式干涉光谱的厚度测量系统，系统兼容双探头法、

插入法和反射谱法三种测量方法，能够实现样品厚度的点测量、线轮廓测量或区

域测量，并基于LabVIEW软件平台开发了配套使用的测量软件，实现了控制、

测量和数据分析处理一体化，提高了测量效率。

4、完成了测量系统的测量噪声、系统漂移、二维扫描平台倾斜角度的测试

和性能评价，结果表明测量系统各性能参数均符合测量要求，并验证了测量系统

的测量范围达到毫米级别，能够实现大范围测量。

5、在测量实验部分中，使用标准量块作为被测样品验证了双探头法针对不

透明样品厚度测量的可行性，并实现了双抛硅片、单抛硅片的厚度测量；使用盖

玻片作为被测样品验证了插入法针对透明样品厚度及折射率同时测量的可行性，

并实现了具有柔性表面的PDMS膜厚及折射率测量。对两种方法进行不确定度

分析的结果表明双探头法厚度测量不确定度为0.16μm（k=2），插入法厚度测量

不确定度为0.05μm（k=2），折射率测量不确定度为8.8×10-4（k=2）。

关键词：干涉光谱，光纤式干涉结构，厚度测量，折射率测量

I

ABSTRACT

Precisiontestingtechnologyplaysanincreasinglyimportantroleinthefieldof

industrialproduction,whichputsforwardhigherandhigherrequirementsforaccurate

controlofsamplethickness.Itsaccuracyanduniformitydirectlyaffecttheactualeffect

ofsemiconductorprocessingtechnology.Becausespectralinterferometryhasthe

advantagesofhighprecision,non-destructive,anddoesnotrequiremechanical

scanning,itiswidelyusedforrapidmeasurementofsamplethickness.Inthispaper,

thethicknessmeasuringsystembasedonfiber-opticspectralinterferometryisdesigned

anddeveloped,anddifferentmeasurementmethodsareproposedfor