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电子级大宗气体国家标准整合修订项目发展研究报告

EnglishTitle:DevelopmentResearchReportontheIntegrationandRevisionofNationalStandardsforElectronic-GradeBulkGases

摘要

本报告围绕电子级大宗气体国家标准的整合修订工作，系统分析了项目立项的目的意义、适用范围及主要技术内容。电子级大宗气体作为集成电路制造领域的关键基础材料，其质量水平直接关系到我国半导体产业的技术发展和国际竞争力。随着集成电路制程节点不断缩小和晶圆尺寸扩大，市场对气体纯度提出了更高要求，现行实施近14年的标准体系已无法满足产业发展需求。本次修订整合了氢、氧、氩、氮、氦等五种电子工业用气体标准，全面更新了技术要求、试验方法、检验规则等内容，增加了术语定义、尾气处理和安全信息等新章节。修订工作将有效提升我国电子材料标准的技术水平，为半导体产业提供质量保障，推动高端电子材料国产化进程，服务国家战略需求。

关键词

电子级大宗气体；国家标准修订；集成电路材料；高纯气体；标准整合；半导体产业；气体纯度；技术规范

Electronic-gradebulkgases;Nationalstandardrevision;Integratedcircuitmaterials;High-puritygases;Standardintegration;Semiconductorindustry;Gaspurity;Technicalspecification

正文

1项目背景与意义

电子级大宗气体是集成电路制造过程中不可或缺的关键基础材料，具有用量大、纯度要求高的特点。随着集成电路技术快速发展，制程节点已进入纳米级别，晶圆尺寸向12英寸及以上发展，对气体材料的纯度要求不断提升，先进集成电路制造通常要求气体纯度达到6N（99.9999%）以上。

现行国家标准包括GB/T16942-2009《电子工业用气体氢》、GB/T14604-2009《电子工业用气体氧》等五项标准，已实施近14年，在适用范围、技术要求及试验方法等方面均需更新。这些标准分散独立，缺乏系统性和协调性，无法满足现代集成电路产业对气体材料的一致性和可靠性要求。

本项目整合修订工作积极响应《十四五推动高质量发展的国家标准体系建设规划》要求，符合制造业高端化领域材料标准建设方向，并与《重点新材料首批次应用示范指导目录（2019年版）》中电子化工新材料的特种气体分类相衔接。通过标准修订，将为电子级大宗气体的生产和检测提供技术指导，为下游半导体产业发展提供质量保障，有助于提高我国高端电子材料自给能力，推动相关产业技术进步。

2范围与主要技术内容

2.1适用范围

本文件规定了电子级大宗气体的技术要求、检验规则、试验方法以及标志、包装、运输和贮存等要求。适用于以工业大宗气体为原料通过提纯工艺制得的电子级大宗气体，包括氢、氧、氩、氮、氦等品种。

2.2主要技术内容修订

本次标准整合修订涉及以下主要内容：

标准结构优化：将原有五项标准整合为统一的标准体系，更改标准名称和范围，增强标准的系统性和协调性。更新规范性引用文件，确保与最新技术发展保持同步。

技术要素完善：增加了术语和定义章节，统一相关概念和技术术语。全面修订技术要求章节，提升气体纯度指标，明确杂质含量限值要求。更改采样要求，完善样品代表性和取样方法。

检测方法升级：更新纯度计算方法，采用更科学准确的计算模型。修订氢、氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷含量的测定方法，引入先进分析技术。改进总烃含量和水含量的测定方法，提高检测精度和可靠性。

新增技术要求：增加了尾气处理的要求，体现环保和可持续发展理念。完善检验规则，明确验收标准和判定规则。更新标志、包装、运输及贮存要求，确保产品全过程质量保证。

安全信息补充：增加了安全信息附录，提供气体使用、储存和应急处置指南。补充参考文献，为标准使用者提供进一步的技术参考依据。

3参与修订的主要企事业单位介绍

本次标准修订工作由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会（SAC/TC203/SC1）牵头组织，中国计量科学研究院作为技术主导单位参与修订工作。

中国计量科学研究院是我国最高计量科学研究机构，在气体标准物质研制、气体分析检测技术研究方面具有深厚的技术积累和丰富的实践经验。该院拥有国家气体产品质量监督检验中心，具备国际先进的气体分析检测能力，参与制定了多项气体相关国家标准和国际标准。在本次标准修订中，该院负责技术要求的确定、检测方法的验证和标准参数的确定等关键技术工作，为确保标准的科学性、先进性和适用性提供了重要技术支撑。

同时，项目组还邀